[实用新型]一种多孔坩埚有效

专利信息
申请号: 201720030514.0 申请日: 2017-01-10
公开(公告)号: CN206511930U 公开(公告)日: 2017-09-22
发明(设计)人: 高超;宗艳民;李长进;李加林 申请(专利权)人: 山东天岳晶体材料有限公司
主分类号: C01B32/977 分类号: C01B32/977
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司37205 代理人: 赵斌,苗峻
地址: 250118 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 多孔 坩埚
【权利要求书】:

1.一种多孔坩埚,其特征在于:具体结构如下:

包括多孔的石墨坩埚以及内置的多孔石墨托盘,所述多孔的石墨坩埚包括坩埚盖(1)和坩埚体(2),所述坩埚盖(1)和坩埚体(2)上均设置有通孔A(3);

所述多孔石墨托盘由若干层石墨托盘(6)组成,所述石墨托盘(6)之间通过石墨托(4)承载;所述的石墨托盘(6)上设置有通孔B(5)。

2.根据权利要求1所述多孔坩埚,其特征在于:通孔A(3)的孔径大于通孔B(5)的孔径。

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