[实用新型]一种多孔坩埚有效
申请号: | 201720030514.0 | 申请日: | 2017-01-10 |
公开(公告)号: | CN206511930U | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 高超;宗艳民;李长进;李加林 | 申请(专利权)人: | 山东天岳晶体材料有限公司 |
主分类号: | C01B32/977 | 分类号: | C01B32/977 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 赵斌,苗峻 |
地址: | 250118 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多孔 坩埚 | ||
【权利要求书】:
1.一种多孔坩埚,其特征在于:具体结构如下:
包括多孔的石墨坩埚以及内置的多孔石墨托盘,所述多孔的石墨坩埚包括坩埚盖(1)和坩埚体(2),所述坩埚盖(1)和坩埚体(2)上均设置有通孔A(3);
所述多孔石墨托盘由若干层石墨托盘(6)组成,所述石墨托盘(6)之间通过石墨托(4)承载;所述的石墨托盘(6)上设置有通孔B(5)。
2.根据权利要求1所述多孔坩埚,其特征在于:通孔A(3)的孔径大于通孔B(5)的孔径。
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