[实用新型]基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器

权利要求书

1.一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，包括：

微加热器平台；

石墨烯，位于所述微加热器平台上；

活性薄膜，形成于所述石墨烯的表面，其中，所述活性薄膜为具有活性基团的活性薄膜；

光受体蛋白，形成于所述活性薄膜上。

2.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述石墨烯为经过退火处理的石墨烯。

3.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述活性薄膜为对所述石墨烯进行试剂修饰所得到的活性薄膜，所述试剂包括1，5-二氨基萘、1-芘丁酸、戊二醛、1-(3-二甲氨基丙基)-3-乙基碳二亚胺盐酸盐及N-羟基琥珀酰亚胺中的一种。

4.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述活性薄膜为具有活性基团的活性薄膜，所述活性基团为氨基活性基团、羧基活性基团、醛基活性基团中的一种。

5.根据权利要求4所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述光受体蛋白与所述活性薄膜的活性基团结合形成共价键，以连接所述光受体蛋白与所述活性薄膜。

6.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述光受体蛋白包括视蛋白类、光敏素类、隐花色素类、向光色素类、BLUF结构域类、紫外光受体类中的一种。

7.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述微加热器平台自下而上依次包括：

衬底，其中包括一个隔热腔；

复合膜，位于所述隔热腔上方，包括加热膜区以及支撑梁区，所述支撑梁区连接所述加热膜区与所述衬底；

电阻器件，包括加热电阻丝、第一供电引线、第一供电电极，其中，至少所述加热电阻丝形成于所述加热膜区上；

绝缘层，形成于所述电阻器件上，至少覆盖所述加热电阻丝；

电极器件，形成于所述绝缘层上，并且包括测试电极、第二供电引线、第二供电电极，其中，至少所述测试电极与所述加热电阻丝上下对应设置，所述石墨烯至少覆盖所述测试电极。

8.根据权利要求7所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述测试电极为叉指电极。

9.根据权利要求7所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述衬底为(100)面的硅衬底，所述复合膜为至少一层氧化硅膜及至少一层氮化硅膜形成的复合膜。

10.根据权利要求7所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述支撑梁区的形状为直线形或蛇形。