[实用新型]一种单晶炉连续加料的旋转阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备，尤其涉及一种单晶炉连续加料的旋转阀。

背景技术

在单晶硅的拉制过程中，为达到产能的最大化，需要进行多次加料。外接加料装置都具备良好的密封性，为了确保真空无泄漏，当需要外部向炉内加料时，需要打开阀门，颗粒状的硅材料和粉尘会污染密封圈，导致关闭阀门时，真空密封不良，造成真空泄漏，炉内氧化，影响产品质量，甚至无法正常维持生产工艺而进行报废处理。因此，有必要对其进行改进，以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉连续加料的旋转阀，以避免加料过程对密封装置造成污染。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是，

一种单晶炉连续加料的旋转阀，包括阀体，其中：

阀体中设有转轴，该转轴向阀体外部伸出，其末端设有驱动杆，阀体两端分别具有进料口与出料口，阀体内设有阀板，阀板的形状与出料口适配，转轴上具有支承件，阀板固定于该支承件上，转轴转动时可带动支承件与阀板移动，由阀板将出料口开启或关闭；

阀体外设有送料管，该送料管一端与加料装置连通，其另一端伸入进料口，阀体上装设有密封波纹管，密封波纹管罩覆于送料管外部，密封波纹管底部具有定位环，定位环沿进料口边缘设置，并与阀体固定连接，密封波纹管顶部具有法兰环，法兰环内圈固定于送料管外壁；

阀体上设有顶升气缸与导柱，顶升气缸的缸体固定于阀体外壁，其活塞杆与法兰环相接，导柱与送料管及顶升气缸的活塞杆相互平行，其底端固定于阀体外壁，法兰环中具有滑孔，导柱从该滑孔中穿过，由顶升气缸带动送料管沿导柱移动。

阀体的横截面为圆形，转轴沿阀体的轴线设置，进料口及出料口位于轴线一侧。

出料口内侧具有嵌槽，嵌槽内固定有密封圈。

转轴与阀体连接处设有密封垫。

出料口处设有接管，该接管向阀体外侧伸出，其末端具有定位环，定位环向接管外侧卷折。

旋转阀接入加料系统中，阀板关闭状态时，阀板下部可处于真空状态，其真空度主要依靠密封圈和阀板无缝隙的紧密接触来实现；送料管的上部连接喂料系统，旋转阀的转轴与阀体上部的驱动杆相连，驱动杆可用手扳动或采用气缸推动，达到开启的位置；当阀体内的阀板以转轴为中心，移动至开启位置后，送料管的顶升气缸由高位变低位，送料管的下沿口移位至密封圈的下方，进行加料。

本实用新型的优点在于，送料管在高位时，可以自由开关旋转阀，阻断真空环境与大气的通道，阀板打开后，送料管下探至密封圈下方，确保硅料经过的路径不会对密封面产生污染，加料结束后，送料管再回至高位，关闭阀门，可确保真空度。

附图说明

图1是本实用新型提出的单晶炉连续加料的旋转阀的结构示意图；

图2是该旋转阀开启状态示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本实用新型。