[实用新型]铁电微等离子体推进器

权利要求书

1.一种铁电微等离子体推进器，其特征在于，所述铁电微等离子体推进器包括微喷管和铁电体放电器，微喷管键合在铁电体放电器上，微喷管和铁电体放电器之间的固定剂采用环氧树脂，微喷管和铁电体放电器中设有微通道，微喷管上设有出气的喷嘴，铁电放电器内设有铁电阴极放电区，推进剂气体由微通道的进气口进入铁电阴极放电区，经过微喷管的喷嘴喷出，喷嘴上设有内进气口和外出气口，内进气口和外出气口成倒金字塔形状。

2.根据权利要求1所述的铁电微等离子体推进器，其特征在于，所述微喷管采用硅材料制备，微喷管的外表面设有二氧化硅掩膜，铁电放电器的表面设有电极膜。

3.根据权利要求1所述的铁电微等离子体推进器，其特征在于，所述内进气口在微喷管上的接触面大于外出气口在微喷管上的接触面。

4.根据权利要求1所述的铁电微等离子体推进器，其特征在于，所述微通道设置在微喷管和铁电放电器之间形成水平进气结构或微通道刻蚀在铁电放电器上形成垂直进气结构。

5.根据权利要求4所述的铁电微等离子体推进器，其特征在于，所述水平进气结构中，微喷管和铁电放电器之间设有两个接触端，一个接触端是环氧树脂，另一个接触端是微通道。

6.根据权利要求4所述的铁电微等离子体推进器，其特征在于，所述垂直进气结构中，微喷管和铁电放电器之间设有两个接触端，两个接触端都采用环氧树脂固定，铁电放电器上设置通孔为微通道。