[实用新型]一种激光器混合气体的制备装置

权利要求书

1.一种激光器混合气体的制备装置，其特征在于：包括混合气体气罐，混合气体气罐的入口与控制阀的出口通过管路相连通，控制阀的入口与主管路相连通，所述主管路与气体流量计的出口通过管路相连通，气体流量计的入口与减压阀的出口通过管路相连通，减压阀的入口与纯气体气罐出口相连通；

其中，所述主管路上连接有真空泵；所述的控制阀与混合气体气罐之间的管路连接有压力表。

2.根据权利要求1所述的激光器混合气体的制备装置，其特征在于：所述混合气体气罐为三层罐体结构；所述混合气体气罐的内层罐体中央插有搅拌杆，所述搅拌杆伸入内层罐体的部分带有三层搅拌叶片，露在罐体外的搅拌杆由伺服电机驱动旋转。

3.根据权利要求2所述的激光器混合气体的制备装置，其特征在于：所述混合气体气罐其外层罐体为钢制，耐压上限为25Mpa；内层罐体为镍基耐腐蚀合金制成，耐压上限是20Mpa；混合气体气罐的外层罐体和内层罐体之间设有隔热保温层。

4.根据权利要求3所述的激光器混合气体的制备装置，其特征在于：所述纯气体气罐分为上、下两个腔室；上腔室和下腔室之间通过活塞式隔膜隔开；所述下腔室通过管路阀门与压缩空气源相连。

5.根据权利要求4所述的激光器混合气体的制备装置，其特征在于：所述纯气体气罐的数量为六个，分别为氮气气罐、二氧化碳气罐、一氧化碳气罐、氧气气罐、氙气气罐和氦气气罐。

6.根据权利要求5所述的激光器混合气体的制备装置，其特征在于：每个纯气体气罐的出口通过管路与一个减压阀的入口相连，每个减压阀的出口均与一个气体流量计的入口相连，每个气体流量计的出口均与一个气体单向阀的入口相连，每个气体单向阀的出口均与主管路相连通。

7.根据权利要求6所述的激光器混合气体的制备装置，其特征在于：所述纯气体气罐均为钢制，耐压上限为15MPa；每个纯气体气罐的上腔室充有纯气体。

8.根据权利要求7所述的激光器混合气体的制备装置，其特征在于：当纯气体气罐的上腔室的气体压力等于混合气体气罐压力时，打开纯气体气罐下腔室的阀门，压缩空气推动活塞式隔膜上移，压缩上腔室的纯气体，使上腔室的气体压力大于混合气体气罐压力。