[实用新型]一种检测金属线短路的测试结构

权利要求书

1.一种检测金属线短路的测试结构，包括第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构，所述第一梳齿结构和所述第二梳齿结构相对交错设置，所述蛇形结构位于所述第一梳齿结构和所述第二梳齿结构之间的间隙之中，其特征在于，所述测试结构还包括：

测试金属线段，所述测试金属线段位于所述第一梳齿结构、所述第二梳齿结构以及所述蛇形结构的上方；

金属插塞，所述金属插塞连接所述测试金属线段和所述第一梳齿结构，所述金属插塞连接所述测试金属线段和所述第二梳齿结构，所述金属插塞连接所述测试金属线段和所述蛇形结构。

2.根据权利要求1所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，所述第一梳齿结构、所述第二梳齿结构以及所述蛇形结构位于同一平面上，且互不接触。

3.根据权利要求1所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，所述第一梳齿结构和所述第二梳齿结构均包括多个并排平行的金属梳齿以及一个连接所述多个并排平行的金属梳齿一端的金属横杠。

4.根据权利要求3所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，每一个所述金属梳齿上至少连接一个所述测试金属线段，相邻两个所述金属梳齿之间的所述蛇形结构上至少连接一个所述测试金属线段。

5.根据权利要求1所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，所述测试金属线段的宽度与所述第一梳齿结构、所述第二梳齿结构以及所述蛇形结构的宽度一致。

6.根据权利要求1所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，所述测试金属线段的尺寸均相同，并符合28nm节点逻辑区最小特征尺寸的设计要求。

7.根据权利要求1-6任一项所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，所述第一梳齿结构、所述第二梳齿结构以及所述蛇形结构由层间电介质隔开。

8.根据权利要求7所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，所述层间电介质的材料为二氧化硅。

9.根据权利要求1所述的检测金属线短路的测试结构，其特征在于，还包括位于所述蛇形结构的两端用于连接电源和接地的测试焊盘。