[实用新型]一种铸锭籽晶融化厚度测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅定向凝固设备技术领域，具体涉及一种铸锭籽晶融化厚度测量装置。

背景技术

多晶硅铸锭过程中需要对籽晶的融化程度进行检测，即对籽晶的融化厚度进行测量，目前通用的测量方法是人工手持测量棒，穿过炉体接触硅液，来测量硅液底部高度，通过物理尺寸来判断籽晶融化厚度；这种方法存在很多问题，测量过程需要在人工手持的状态下进行，不够自动化，测量运行时间和过程不易控制、测量结果不一致、测量棒使用寿命较短等问题，并且易导致测量数据出现误差及使用不方便的情况。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种铸锭籽晶融化厚度测量装置，以提高测量过程的自动化，提高测量的准确性。

为达到上述目的，本实用新型采用如下的技术方案：

一种铸锭籽晶融化厚度测量装置，包括箱体、支撑杆、电机、编码器、连接丝以及测量棒；

所述箱体通过所述支撑杆连接于铸锭炉壳体的顶端，所述电机及所述编码器设置于所述箱体内，所述测量棒设置于所述铸锭炉内坩埚装置的上方，所述连接丝的一端连接于所述电机的输出端，另一端依次连接所述编码器的输入部及所述测量棒的上端，所述箱体及所述铸锭炉壳体上分别对应设置有可供所述连接丝通过的第一通孔及第二通孔，所述编码器的输出部连接有外部接收器。

作为一种优选的技术方案，所述箱体、所述支撑杆及所述连接丝均为金属构件。

作为一种优选的技术方案，所述支撑杆与所述箱体之间、所述支撑杆与所述铸锭炉壳体之间的连接方式为螺纹连接。

作为一种优选的技术方案，所述测量棒为石英构件的测量棒。

作为一种优选的技术方案，所述第一通孔内设有用以固定所述连接丝的固定件。

作为一种优选的技术方案，所述第二通孔内设有用以密封铸锭炉内部空间的密封件。

由于采用以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

一种铸锭籽晶融化厚度测量装置，包括箱体、支撑杆、电机、编码器、连接丝以及测量棒；箱体通过支撑杆连接于铸锭炉壳体的顶端，电机及编码器设置于箱体内，测量棒设置于铸锭炉内坩埚装置的上方，连接丝的一端连接于电机的输出端，另一端依次连接编码器的输入部及测量棒的上端，箱体及铸锭炉壳体上分别对应设置有可供连接丝通过的第一通孔及第二通孔，编码器的输出部连接有外部接收器；基于以上结构，本实用新型在使用时，利用支撑杆作为箱体及铸锭炉壳体之间的连接件，利用箱体起到支承的作用，为测量过程提供了场所，利用电机可以通过对连接丝进行卷绕从而对测量棒进行提升作用，利用编码器可以对连接丝的运动位移及运动速率进行检测及传输，利用对应设置的箱体上的第一通孔及铸锭炉壳体上的第二通孔可以使连接丝便于通过及运动，利用外部接收器可以将编码器测量到的数据结果进行接收并存储或显示。

本实用新型中，箱体、支撑杆及连接丝均为金属构件；基于以上结构，本实用新型在使用时，利用金属构件的箱体、支撑杆及连接丝，提高了整体装置的强度、刚度及耐磨性，增加了整体装置的使用寿命。

本实用新型中，支撑杆与箱体之间、支撑杆与铸锭炉壳体之间的连接方式为螺纹连接；基于以上结构，本实用新型在使用时，利用支撑杆与箱体之间的螺纹连接，支撑杆与铸锭炉壳体之间的螺纹连接，便于安装、拆卸及维修，提高了整体装置结构的稳定性及便利性。

本实用新型中，测量棒为石英构件的测量棒；基于以上结构，本实用新型在使用时，石英构件的测量棒为市场上通用的构件，便于替换。

本实用新型中，第一通孔内设有用以固定连接丝的固定件；基于以上结构，本实用新型在使用时，利用设置于第一通孔内用以固定连接丝的固定件，减小了因连接丝在工作过程中的晃动而对测量结果产生的影响，增加了整体装置工作的稳定性及测量结果的准确性。

本实用新型中，第二通孔内设有用以密封铸锭炉内部空间的密封件；基于以上结构，本实用新型在使用时，利用设置于第二通孔内的用以密封铸锭炉内部空间的密封件，保证了铸锭炉内部空间的密封性，减小了连接丝对于铸锭炉工作过程的影响。

综上所述，本实用新型提高了测量过程的自动化，提高了测量的准确性，测量数据便于分析、存储及后续处理，结构简单，便于操作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。