[实用新型]一种改进的真空热压炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及ITO靶材加工设备领域，尤其涉及一种改进的真空热压炉。

背景技术

ITO 靶材主要制备方法有热等静压法、热压法和烧结法等。真空热压法是利用热能与机械性能将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型的工艺。由于该工艺烧结温度可依外加压力的大小而比常压烧结低约200℃～400℃， 同时外加的能量使粉状材料致密化速度加快，可以在较低的温度及较短的时间内生产完成完全致密的ITO 靶材产品，因此目前国内厂家普遍采用真空热压法生产ITO 靶材。

真空热压炉如图1所示，通常包括炉体10’、发热机构20’以及热压装置30’，其中热压装置30’包括设置于炉体顶部的上压头301’以及设置于炉体底部的下压头302’，所述下压头302’安装于下液压油缸303’的推杆3031’上，由于所述推杆3031’穿过炉体底部带动下压头于炉体的高温区上下运动，则推杆的密封状况是影响炉体内真空度的重要因素。推杆的密封结构如图1所示，包括与炉底101’固定连接的法兰1’，所述法兰1’内安装一环形密封圈2’，所述推杆3031’穿过环形密封圈2’进入炉体内部，当炉体抽真空作业时导致密封圈2’上部压力骤减，部分空气由密封圈下部进入炉体使密封圈与推杆之间的间隙增大，进而导致密封效力下降。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种密封性能优异的真空热压炉。

实现本实用新型目的的技术方案是，一种改进的真空热压炉，其包括炉体、发热机构以及热压装置，所述发热机构包括安装于炉体内部的发热体以及数个导热电极，所述导热电极穿过炉体与发热体连接；所述热压装置包括设置于炉体顶部的上压头以及设置于炉体底部的下压头，所述下压头安装于下液压油缸的推杆上，所述炉体的底部固定安装有一密封装置；所述密封装置包括上密封座、下密封座以及双向密封圈，所述上密封座固定安装于炉体底部，所述下密封座可拆卸地安装于上密封座底部并与上密封座围合成中空的双向密封圈安装空间，上密封圈以及下密封圈的内侧壁设置有密封圈固定槽；所述双向密封圈为两端内径小中间内径大的类橄榄形结构，双向密封圈的中部的外围设置有凸台，所述凸台嵌套于密封圈固定槽内，双向密封圈的两端与相对的上密封座以及下密封座之间存在密封圈活动间隙，所述推杆顺次穿过下密封座、双向密封圈以及上密封座进入炉体内部，所述上密封座、双向密封圈以及推杆围合成上气室，所述下密封座、双向密封圈以及推杆围合成下气室。

进一步地，所述密封圈固定槽为上密封座与下密封座拼接而成。

进一步地，所述凸台与密封圈固定槽固定连接。

进一步地，所述双向密封圈一体成型。

进一步地，所述导热电极内部设有回水管路。回水管路内冷却水与导热电机充分换热，避免温度过高造成短路。

本实用新型实现的真空热压炉内独创的双向密封圈结构与上、下密封座以及推杆配合，于密封装置内部分隔出上、下两个气室，当炉体抽真空时，上气室内压力骤减导致空气由双向密封圈的上部进入双向密封圈内，由于下气室内气压大于双向密封圈内部气压，则双向密封圈的下部受到下气室的压力抱紧推杆，防止漏气，从而保证了炉体的真空度；当炉体内正压状态时，上气室压力大于双向密封圈内部气压，则双向密封圈的上部受到上气室的压力抱紧推杆，保证炉体不漏气。

附图说明

图1为本实用新型背景技术所述真空热压炉部分剖视结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述真空热压炉的部分剖视结构示意图；

图3为本实用新型实施例所述上、下密封座的装配结构剖视图；

图4为本实用新型实施例所述导热电极结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型较佳实施例做详细说明。

如图2和图4所示，一种改进的真空热压炉，其包括炉体10、发热机构20以及热压装置30，所述发热机构20包括安装于炉体内部的发热体201以及数个导热电极202，所述导热电极202穿过炉体与发热体201连接，所述导热电极202内部设有回水管路2021。