[实用新型]一种直拉法单晶炉用分段式接晶框有效
申请号: | 201720051795.8 | 申请日: | 2017-01-17 |
公开(公告)号: | CN206502892U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 王琳 | 申请(专利权)人: | 陕西西京电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710065 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉法单晶炉用分 段式 接晶框 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,特别地,涉及一种直拉法单晶炉用分段式接晶框。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶的设备。在直拉法制备单晶硅工艺中,晶体拉制完成拆炉后,晶棒温度依然达到数百度,需要专用的接晶框接取晶棒后冷却才能搬运。
随着技术提升,晶棒直径、长度、重量快速增大,原始一体式接晶框的弊端越来越大:大型一体式接晶框高度高,只能放于单晶炉底水平基面,当放入晶棒后,重量达到近200KG,且与地面有约70CM的落差,为取出晶棒,需要4个身体强壮的人员通力合作,劳动强度巨大;晶棒长度达到近2米,炉底空间狭小操作困难,有磕碰人员和产品的危险,晶棒取出后还需称重,需要人工多次搬运,耗费人力;而小型一体式接晶框因重心不稳无法放置长晶体。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于一种直拉法单晶炉用分段式接晶框,解决了使用传统一体式接晶框时晶体不便搬运的问题。
为了达到上述目的,本实用新型采用以下技术方案予以实现。
一种直拉法单晶炉用分段式接晶框,其特征在于,包括:
圆柱形固定框架,所述圆柱形固定框架包含多个圆环框架和连接杆,所述连接杆竖向连接所述多个圆环框架;
软性框架,所述软性框架包含多条软链、防脱环和底部承接盘,所述多条软链之间平行连接有所述防脱环和所述底部承接盘;
所述多条软链与所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架连接,所述最下端的圆环框架的两侧对称设置有支撑耳。
作为优选地,所述连接杆竖向焊接连接所述多个圆环框架,且所述多个圆环框架相互平行设置。
作为优选地,所述多个圆环框架为3个。
作为优选地,所述多条软链通过焊接固定在所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架上,并均匀分布于圆环框架的一周,且不与所述支撑耳相互干扰。
作为优选地,所述多条软链为4条。
作为优选地,所述防脱环设置于所述多条软链的下部,且距离所述多条软链的下端10-15厘米。
作为优选地,所述多条软链与所述防脱环的一周均匀连接,且所述防脱环平行于所述圆环框架。
作为优选地,所述多条软链与所述底部承接盘的一周均匀连接,且所述底部承接盘平行于所述防脱环。
作为优选地,所述支撑耳为两个。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:
本实用新型的直拉法单晶炉用分段式接晶框利用圆柱形固定框架连接软性框架的结构,解决了使用传统一体式接晶框时晶体不便搬运的问题,结构简单,使用方便。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。
图1为本实用新型的一种直拉法单晶炉用分段式接晶框的结构示意图;
图中:1、圆环框架;2、连接杆;3、支撑耳;4、软链;5、防脱环;6、底部承接盘。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型的实施方案进行详细描述,但是本领域的技术人员将会理解,下列实施例仅用于说明本实用新型,而不应视为限制本实用新型的范围。
本实用新型提供了一种直拉法单晶炉用分段式接晶框,包括:圆柱形固定框架,所述圆柱形固定框架包含多个圆环框架1和多个连接杆2,所述多个连接杆2竖向连接所述多个圆环框架1;还包括软性框架,所述软性框架包含多条软链4、防脱环5和底部承接盘6,所述多条软链4之间平行连接有所述防脱环5和所述底部承接盘6;所述多条软链4与所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架1连接,所述最下端的圆环框架1的两侧对称设置有支撑耳3。
其中,具体地,连接杆2竖向焊接连接圆环框架1,且多个圆环框架1相互平行设置;多个圆环框架1至少3个。
其中,具体地,多条软链4通过焊接固定在圆柱形固定框架的最下端的圆环框架1上,并均匀分布于圆环框架1的一周,且不与支撑耳3相互干扰;多条软链为至少4条。
其中,具体地,防脱环5为Φ4圆钢材质,设置于多条软链4的下部,穿过软链4的下部等距处并成封闭状态,距离多条软链4的下端10-15厘米。
其中,具体地,多条软链4与防脱环5的一周均匀连接,且防脱环5平行于圆环框架1。
其中,具体地,底部承接盘6为钢板制扁平圆环,多条软链4与底部承接盘6的一周均匀焊接连接,且底部承接盘6平行于防脱环5,保持水平状态。
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