[实用新型]一种倒置曝光设备

权利要求书

1.一种倒置曝光设备，其特征在于，所述倒置曝光设备包括支撑结构、曝光装置、对准装置、载样装置和控制装置；所述支撑结构下部为一箱体结构，曝光装置和控制装置位于所述箱体结构内，所述载样装置嵌于箱体结构上表面并位于曝光装置上方；所述支撑结构上部为墙面结构或龙门结构，所述对准装置与支撑结构上部连接且位于载样装置的上方。

2.根据权利要求1所述的倒置曝光设备，其特征在于，所述载样装置为由上下两层透明材质的材料构成的透明载物装置。

3.根据权利要求1所述的倒置曝光设备，其特征在于，所述箱体结构为一密闭箱体。

4.根据权利要求1所述的倒置曝光设备，其特征在于，所述曝光装置包括曝光镜头和曝光运动组件。

5.根据权利要求1所述的倒置曝光设备，其特征在于，所述曝光装置的曝光镜头为DMD组件或多棱镜组件。

6.根据权利要求1所述的倒置曝光设备，其特征在于，所述对准装置包括对准相机和对准运动组件。

7.根据权利要求1所述的倒置曝光设备，其特征在于，所述对准装置的对准相机为CCD相机。

8.根据权利要求6所述的倒置曝光设备，其特征在于，所述对准运动组件包括X、Y、Z 3个方向的导轨。