[实用新型]一种三自由度混合柔性铰链微动平台

权利要求书

1.一种三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：包括动平台、定平台、设置在定平台上的驱动装置和三条用于连接定平台和动平台的柔性支链；每条所述柔性支链由具有正圆双柔性铰链一的柔性支链一和具有正圆双柔性铰链二的柔性支链二通过直角柔性铰链连接组成；所述柔性支链一远离柔性支链二的一端与动平台连接，柔性支链二远离柔性支链一的一端与定平台连接；所述驱动装置与柔性支链一连接。

2.根据权利要求1所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述柔性支链一与柔性支链二垂直连接。

3.根据权利要求1所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述柔性支链一由支链体一和正圆双柔性铰链一连接组成；所述正圆双柔性铰链一与动平台连接。

4.根据权利要求3所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述驱动装置与支链体一连接。

5.根据权利要求3所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述柔性支链二由支链体二和正圆双柔性铰链二连接组成；所述正圆双柔性铰链二与定平台连接。

6.根据权利要求5所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述支链体一通过直角柔性铰链与支链体二连接。

7.根据权利要求5所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述正圆双柔性铰链一和正圆双柔性铰链二均为对称型正圆双柔性铰链。

8.根据权利要求5所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述正圆双柔性铰链一和正圆双柔性铰链二均由两个相同的半圆形单柔性铰链组成，两个半圆形单柔性铰链背对对称设置。

9.根据权利要求1所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：三条所述柔性支链呈120°对称分布在动平台的外围。

10.根据权利要求1所述的三自由度混合柔性铰链微动平台，其特征在于：所述动平台和定平台均为铝材料制成的平台；所述驱动装置为压电陶瓷驱动装置。