[实用新型]一种用于GT多晶炉铸造G7多晶硅锭的装置有效
申请号: | 201720055705.2 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN206486622U | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 马翔宇;路景刚;孟涛 | 申请(专利权)人: | 江苏美科硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258 | 代理人: | 陈丽君 |
地址: | 212200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 gt 多晶 铸造 g7 装置 | ||
1.一种用于GT多晶炉铸造G7多晶硅锭的装置,包括多晶炉、加热器和坩埚,其特征为,所述多晶炉内设有圆柱形炉腔,所述加热器置于炉腔内,所述加热器与炉腔内壁之间设有隔热笼,所述坩埚置于加热器内,所述隔热笼、加热器和坩埚均呈四角为倒角的四方体结构,且尺寸依次减小;
所述坩埚水平截面为四角为倒角的正四边形结构,正四边形的边长为d1,倒角边长为d2,d1:d2=3:1,所述坩埚外壁到加热器内壁的垂直距离为d3,所述加热器外壁到隔热笼内壁的垂直距离为d4,所述隔热笼外壁到炉腔内壁的最小垂直距离为d5,d3、d4和d5均大于等于20mm。
2.如权利要求1所述的一种用于GT多晶炉铸造G7多晶硅锭的装置,其特征为,所述坩埚高度为h,d1:h=13:9。
3.如权利要求1所述的一种用于GT多晶炉铸造G7多晶硅锭的装置,其特征为,所述坩埚的倒角a为45°。
4.如权利要求1所述的一种用于GT多晶炉铸造G7多晶硅锭的装置,其特征为,d3:d4=2:3。
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