[实用新型]刻蚀机的下电极载片台

权利要求书

1.一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

包括上载台和下载台，两者相互连接，其中，所述上载台用于放置晶圆，所述上载台的下表面开有冷却液循环槽，所述上载台的上表面设有冷却气体分流槽和冷却气体出气孔，所述下载台中心设有通孔以与刻蚀机的顶针机构匹配安装，具有冷却液入口、冷却液出口和冷却气体进气孔，所述冷却液入口和所述冷却液出口均与所述冷却液循环槽相连通，

在对下电极进行冷却时，冷却液从所述下载台的冷却液入口进入所述上载台的冷却液循环槽内，而后从所述下载台的冷却液出口流出，

对所述上载台表面的晶圆进行冷却时，冷却气体从所述下载台的冷却气体进气孔进入，从所述上载台的冷却气体出气孔通过，并向所述冷却气体分流槽内扩散。

2.根据权利要求1所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述冷却气体分流槽为多个同心环形槽，并且通过径向槽相互连通。

3.根据权利要求1所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述冷却气体出气孔呈环形分布。

4.根据权利要求2所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述冷却气体出气孔位于所述冷却气体分流槽的最内侧的环形槽上。

5.根据权利根据权利要求3或4所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述冷却气体出气孔均匀分布。

6.根据权利要求1所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

在所述上载台的上表面的边缘区域设置有晶圆止滑区。

7.根据权利要求6所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述晶圆止滑区包括环形下沉台阶和粘性薄膜，所述环形下沉台阶位于所述上载台的上表面的边缘，所述粘性薄膜配置于所述环形台阶上，所述粘性薄膜的厚度与所述环形下沉台阶的高度相同。

8.根据权利要求7所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述环形下沉台阶的宽度为5～10mm，高度为0.1～0.3mm。

9.根据权利要求7所述刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述粘性薄膜为聚酰亚胺薄膜。

10.根据权利要求1所述的刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，

所述上载台与所述下载台通过螺栓紧固连接。