[实用新型]一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑有效
申请号: | 201720069088.1 | 申请日: | 2017-01-17 |
公开(公告)号: | CN206502890U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 杨鑫 | 申请(专利权)人: | 陕西西京电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710065 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉法单晶炉用 双面 导流 支撑 | ||
【权利要求书】:
1.一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑,包括导流筒支撑本体,其特征在于,该导流筒支撑本体包括第一面和第二面,所述第一面由外向内依次设置有上保温筒定位槽、上导流筒定位环槽,所述上导流筒定位环槽处设置有上导流筒入口,所述第二面由外向内依次设置有下保温筒定位槽、下导流筒定位环槽,所述下导流筒定位环槽处设置有下导流筒入口。
2.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑,其特征在于,所述导流筒支撑本体的材质为等静压石墨。
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