[实用新型]扫描电镜EBSD样品台

权利要求书

1.一种扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：包括样品台主体，所述样品台主体前侧面设置有若干个相互独立的放置空腔，所述放置空腔内设置有载物台，所述样品台主体后侧设置有螺丝，每个放置空腔底面中部设置有贯穿样品台主体的螺孔，螺丝前端贯穿螺孔后伸入放置空腔内并抵靠载物台后侧面，螺丝与螺孔螺纹配合，所述样品台主体下方设置有折杆，所述折杆包括竖直杆，竖直杆下部设置有插接柱，竖直杆上部设置有斜杆，斜杆与竖直面的夹角为70度，样品台主体安装在斜杆与上，样品台主体下侧面与斜杆平行，样品台主体前侧面、载物台前侧面与斜杆垂直。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述样品台主体为长方体。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述载物台呈台阶状，载物台后部周侧向外突出由凸部。

4.根据权利要求2所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述放置空腔前部设置有用以挡住凸部的限位部。

5.根据权利要求4所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述载物台与放置空腔侧壁之间的间隙不超过1mm。

6.根据权利要求5所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述螺丝前端与载物台转动连接。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述载物台后侧面中部设置有圆孔，螺钉前端伸入圆孔内。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述载物台前侧面涂覆有导电胶。

9.根据权利要求1-7任意一项所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述样品台主体、载物台、折杆均与铝合金材质。

10.根据权利要求1-7任意一项所述的扫描电镜EBSD样品台，其特征在于：所述放置空腔不少于3个。