[实用新型]氯硅烷废气吸收设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体吸收设备，具体涉及一种氯硅烷废气吸收设备。

背景技术

三氯硅烷和四氯化硅等氯硅烷的气体，会和空气中的水分发生水解，并生成氯化氢和二氧化硅。因此，在产业化生产的工厂内，为了安全处理产生的含三氯硅烷和四氯化硅等氯硅烷的废气，多数情况下设置有用于吸收氯硅烷的除害设备，除害设备通常使用输气管道连接在产生氯硅烷废气的设备或场所的氯硅烷吸引口上。氯硅烷废气经过输气管道流入至除害设备中，氯硅烷废气则会被水或氢氧化钠吸收处理。

氯硅烷吸引口和除害设备，一般会通过输气管道连接，但规模较大的工厂，输气管道距离长，在输气管道内部氯硅烷发生水解产生二氧化硅，输气管道经常被二氧化硅堵塞。在清扫堵塞的输气管道时，特别是当所堵塞的位置离输气管道的连接法兰较远时，输气管道的内部的清扫非常费力，有时还需要切割输气管道来进行清扫。另外，在高处的输气管道清扫作业中就需要花费更多的人力和物力。

实用新型内容

为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种氯硅烷废气吸收设备，以解决氯硅烷废气吸收装置的较长的输气管道容易被氯硅烷水解产生的二氧化硅堵塞的问题。

为实现上述目的，提供一种氯硅烷废气吸收设备，包括：

吸收罐，所述吸收罐内部形成有容置空间，所述容置空间内容置有用于吸收氯硅烷废气的吸收液；

进气管，设于所述吸收罐的顶部，所述进气管的第一端插设于所述吸收液内，所述进气管的第二端位于所述吸收罐的外侧且设有进气口；

排气管，设于所述吸收罐的顶部，所述排气管的第一端连通于所述容置空间，所述排气管的第二端连接至氯硅烷二次吸收装置；以及

用于向外排出所述吸收液的排液管，设于所述吸收罐的底部且连通所述容置空间。

进一步的，所述吸收罐包括罐体和盖体，所述罐体和所述盖体密封围合形成所述容置空间，所述进气管和所述排气管插设于所述盖体上，所述排液管设于所述罐体的底部。

进一步的，所述排液管包括：

虹吸管，设于所述吸收罐的底部，所述虹吸管的第一端连通所述容置空间，所述虹吸管的第二端设有第一控制阀；以及

溢流管，设于所述虹吸管的上方且连通于所述虹吸管，所述溢流管上设有第二控制阀。

进一步的，所述虹吸管和所述溢流管为透明树脂管。

进一步的，所述虹吸管和所述溢流管为一体压制成型。

进一步的，所述进气管的第一端端面位于所述吸收液的液面以下5cm～10cm。

进一步的，还包括用于输送所述吸收液的进液管，所述进液管设于所述过滤罐的顶部且连通于所述容置空间。

进一步的，所述排气管为负压排气管，所述负压排气管连接于所述氯硅烷二次吸收装置，所述负压排气管远离所述吸收罐的一端设有抽气装置。

进一步的，所述吸收液为水。

本实用新型的有益效果在于，本实用新型的氯硅烷废气吸收设备可以设置在工厂内的氯硅烷输气管道的前段或中段上，用于预先降低氯硅烷废气中的氯硅烷含量，进而有效降低氯硅烷输气管道被氯硅烷水解产生的二氧化硅堵塞的几率，从而减少氯硅烷输气管道的维护成本，提高工厂的生产效率。本实用新型的氯硅烷废气吸收设备的体积可控，可随意搬动，也可以搬至含有氯硅烷的气体的产生场所中使用。

附图说明

图1为本实用新型氯硅烷废气吸收设备的结构示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

图1为本实用新型氯硅烷废气吸收设备的结构示意图。参照图1所示，本实用新型提供了一种氯硅烷废气吸收设备，包括：吸收罐1、吸收液2、进气管3、排气管4、排液管5以及进液管6。本实用新型的氯硅烷废气吸收设备可以设置在工厂化氯硅烷废气输送管道的前段和/或中段，用于进行一次吸收氯硅烷废气中的氯硅烷，进而有效防止氯硅烷水解产生的二氧化硅堵塞后道的氯硅烷吸收装置的较长的输气管道的几率。