[实用新型]一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器

权利要求书

1.一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，包括基底层、下波导层、中波导层和上波导层，所述下波导层、中波导层和上波导层顺序叠接在基底层的上表面上，所有的波导均为平板条形波导，所述上波导层的顶部设有等周期的布拉格光栅，所述基底层的宽度尺寸要大于下波导层、中波导层、上波导层的宽度尺寸。

2.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述基底层为金属银。

3.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述下波导层直接贴合在基底层的上表面，为二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述中波导层直接叠加于下波导层的上表面，为折射率低于二氧化硅的氟化钠。

5.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述的上波导层为直接叠加于中波导层上表面的硅。

6.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述的平板条形波导的宽度为200nm。

7.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述的布拉格光栅的周期单元为凹凸状的对称矩形结构，并且周期单元中凹槽部分与凸起部分宽度相同。