[实用新型]一种UV机灯管照度检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于灯具性能检测装置领域，特别涉及一种UV机灯管照度检测装置。

背景技术

UV机是为可发射UV光线的设备总称。UV机的主要结构包括机身和机盖，机盖设置在机身上部，机盖可以水平滑动，机身内部设置有可以发射UV光线的灯管。半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后，还要进行一系列操作，如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。晶圆制造过程中，需要对其进行贴胶、切割和解胶，解胶时需要UV光线的照射，UV光线的照度直接影响了解胶的能力。目前，通常将照度计的探头直接放置在UV机灯管前进行照度测量，其不足之处在于：UV机灯管发出的光线是从不同方向射出的，照度计的探头只能检测到一个点的UV光线，测出的照度值精确度很低，而UV光线照度不精确会导致解胶困难，影响晶圆制造。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种UV机灯管照度检测装置，使其能更加准确地检测UV机灯管的照度，确保晶圆顺利解胶。

本实用新型的目的是这样实现的：一种UV机灯管照度检测装置，包括由同轴设置的上圆盘和下圆盘组成的遮光体，上圆盘的直径大于下圆盘的直径，下圆盘的直径与UV机圆形凹槽的内径相匹配，所述遮光体上沿上圆盘的一直径方向等间隔排列设置有3个透光孔，每个透光孔均从上到下贯穿遮光体，所述透光孔由位于上方的大径孔和位于下方的小径孔组成，大径孔和对应小径孔同轴设置，所述大径孔内放置有遮光盖，所述遮光体上对应每个透光孔均设置有压线夹。

本实用新型使用时，先将UV机的的机盖打开，把遮光体的下圆盘放入UV机的圆形凹槽中，拿掉其中一个透光孔内的遮光盖，将照度计的探头放入透光孔内，整理照度计的探头线，使得探头线径直伸到UV机外，用压线夹将探头线固定在遮光体上，防止探头线错位，盖上UV机的机盖，UV机灯管开始照射，记下照度计屏幕显示的最大值L₁；然后打开机盖重复上述步骤，将照度计的探头分别放入其余2个透光孔内，用照度计分别测出其余两个透光孔的照度值L₂和L₃，取L₁、L₂和L₃中的最小值，即为UV机灯管的照度值。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过分别测量3个透光孔处的照度值，检测点更多，更具有代表性，提高了UV机灯管照度的检测精确度，确保UV机能顺利将晶圆解胶。

作为本实用新型的进一步改进，位于中间的所述透光孔设置在上圆盘的中心位置。该技术方案使得检测到的中间透光孔的照度为UV机灯管中心处的照度 ，更具有代表性，进一步提高检测到的UV机灯管照度的精确度。

作为本实用新型的进一步改进，所述遮光体上沿上圆盘的另一直径方向也等间隔排列设置有3个透光孔。检测人员可以检测遮光体不同直径方向的照度值，检测点范围更多，进一步提高检测到的UV机灯管照度的精确度。

为了便于移动遮光盖，所述遮光盖上设置有提拉杆，提拉杆的上端设置有压线帽。压线帽将照度计的探头线压在下面，避免UV机盖关闭时压住探头线。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1中的AA向剖视图。

图3为压线夹的结构示意图。

图4为UV机的结构示意图。

图5为本实用新型使用时的结构示意图。

其中，1遮光体，1a上圆盘，1b下圆盘，2UV机，2a机盖，3圆形凹槽，4透光孔，4a大径孔，4b小径孔，5遮光盖，5a提拉杆，5b压线帽，6压线夹，7照度计，7a探头，7b探头线 。

具体实施方式

如图1-5，为一种UV机灯管照度检测装置，包括由同轴设置的上圆盘1a和下圆盘1b组成的遮光体1，上圆盘1a的直径大于下圆盘1b的直径，下圆盘1b的直径与UV机2圆形凹槽3的内径相匹配，遮光体1上沿上圆盘1a的一直径方向等间隔排列设置有3个透光孔4，位于中间的透光孔4设置在上圆盘1a的中心位置；每个透光孔4均从上到下贯穿遮光体1，透光孔4由位于上方的大径孔4a和位于下方的小径孔4b组成，大径孔4a和对应小径孔4b同轴设置，大径孔4a内放置有遮光盖5，遮光盖5上设置有提拉杆5a，提拉杆5a的上端设置有压线帽5b；遮光体1上对应每个透光孔4均设置有压线夹6。遮光体1上沿上圆盘1a的另一直径方向也等间隔排列设置有3个透光孔4。