[实用新型]新型等离子清洗喷头装置

权利要求书

1.一种新型等离子清洗喷头装置，其特征在于：包括管状的喷头本体（12），喷头本体（12）底部为倒锥形喷嘴（9），喷头本体（12）内置有电极（11）；所述喷头本体（12）通过柔性管（7）连接有发生器壳体（1）；所述发生器壳体（1）内置有气体控制阀（2）和频射电源（3），气体控制阀（2）一端连通至外接气源，气体控制阀（2）另一端通过气体管路（6）连通至喷嘴（9）处，频射电源（3）的正极通过正极线（4）连通至电极（11），频射电源（3）的负极通过负极线（5）连通至喷头本体（12）；所述正极线（4）、负极线（5）和气体管路（6）均设置在柔性管（7）内。

2.根据权利要求1所述的新型等离子清洗喷头装置，其特征在于：所述的喷头本体（12）内置有连通至喷嘴（9）处的气体通道（8），气体管路（6）与气体通道（8）连通。

3.根据权利要求1所述的新型等离子清洗喷头装置，其特征在于：所述的电极（11）外套设有将电极（11）与喷头本体（12）内壁绝缘的绝缘环（10）。

4.根据权利要求1所述的新型等离子清洗喷头装置，其特征在于：所述的电极（11）的长度为喷头本体（12）长度的1/3～1/2。