[实用新型]一种高真空质量流量计有效
| 申请号： | 201720086835.2 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206496794U | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 钟骁;宁扬忠;倪周博;韩亮;曾学兵;黎敏 | 申请（专利权）人： | 成都安迪生精测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司51214 | 代理人： | 韩雪 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 质量 流量计 | ||
1.一种高真空质量流量计，其特征在于，包括经过预排气处理的测量管（1）及设于测量管（1）外且经过预排气处理的罩壳（2），所述测量管（1）与罩壳（2）形成真空腔，所述测量管（1）与罩壳（2）之间的真空腔的真空度至少达到3.0e-3Pa。
2.根据权利要求1所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述测量管（1）的一端连接有进液管（7），所述测量管的另一端连接有出液管（8），所述进液管（7）及出液管（8）均经过预排气处理。
3.根据权利要求1或2所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述测量管（1）与罩壳（2）之间的真空区域内设有低温吸附剂（3）。
4.根据权利要求3所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述低温吸附剂（3）为两个，分别设于测量管（1）的两端。
5.根据权利要求4所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述低温吸附剂（3）设于烧结滤网内部，所述烧结滤网通过氩弧焊焊接在测量管（1）或罩壳（2）上。
6.根据权利要求1所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述罩壳（2）上设有真空密封装置（4）。
7.根据权利要求6所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述真空密封装置（4）包括阀芯（41）、第一密封圈（42）、真空保护罩（44）及阀座（45），所述阀座（45）为筒形，阀座（45）一端设于罩壳（2）本体上，阀座（45）的另一端开口的内壁设有锥面（46），所述阀芯（41）为柱形，阀芯（41）的外圆柱面上设有用于安装第一密封圈（42）的凹槽，第一密封圈（42）与阀座（45）内壁形成密封，阀芯（41）外端部设有与锥面（46）配合的凸起部（47），所述阀座（45）外部设有将阀座（45）罩住的真空保护罩（44）。
8.根据权利要求7所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述真空保护罩（44）与阀座（45）之间设有使得真空保护罩（44）与阀座（45）之间密封的第二密封圈（43）。
9.根据权利要求8所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述阀座（45）与第二密封圈（43）配合安装的外圆柱面及阀座（45）与第一密封圈（42）配合安装的内圆柱面的粗糙度小于或等于0.8。
10.根据权利要求1所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述测量管（1）与罩壳（2）之间的真空度为4.0e-3Pa～5.0e-5Pa。
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