[实用新型]一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置有效
申请号: | 201720087134.0 | 申请日: | 2017-01-23 |
公开(公告)号: | CN206998190U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 吕群波;赵娜;李立英;段晓峰;方煜;李伟艳;陈鑫文;蒲方 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院;西安瑞峰光电技术有限公司 |
主分类号: | B23P19/00 | 分类号: | B23P19/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 scmos 探测器 机械 交错 拼接 装置 | ||
1.一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,其特征在于,包括支撑工作平台(4)以及固定安装在支撑工作平台(4)上的负压吸附导轨(3)和安装基板(1),负压吸附导轨(3)上端固定安装有显微镜(2),安装基板(1)上通过第一紧固螺钉(9)固定有多个研磨垫片(7),研磨垫片(7)上通过第二紧固螺钉(11)固定有单片SCMOS探测器(12),其中研磨垫片(7)通过可拆卸固定在研磨垫片(7)四周的微调工装(6)进行四个方向上的位置调整。
2.根据权利要求1所述的一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,其特征在于,其中安装基板(1)通过第三紧固螺钉(5)固定在支撑工作平台(4)上。
3.根据权利要求1所述的一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,其特征在于,其中研磨垫片(7)包括第一研磨垫片、第二研磨垫片、第三研磨垫片呈品字形固定安装在安装基板(1)上。
4.根据权利要求3所述的一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,其特征在于,其中第一研磨垫片为矩形结构,安装在品字右下方;第二研磨垫片为矩形结构,第二研磨垫片上端两侧设有定位耳,安装在品字上方;第三研磨垫片为矩形结构,第三研磨垫片左端两侧设有定位耳,安装在品字左下方。
5.根据权利要求1所述的一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,其特征在于,其中安装基板(1)上设有多个安装孔,用于研磨垫片(7)通过第一紧固螺钉(9)预定位安装;或者研磨垫片(7)通过自攻丝第一紧固螺钉(9)一次性固定安装在安装基板(1)上。
6.根据权利要求1所述的一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,其特征在于,微调工装(6)包括通过第四紧固螺钉(13)固定在安装基板(1)上的固定螺栓(14)以及设置在固定螺栓(14)内的调整螺钉(15),研磨垫片(7)每个边上均设有两个微调工装(6)。
7.根据权利要求6所述的一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,其特征在于,其中固定螺栓(14)上设有紧固顶丝(16),用于紧固固定螺栓(14)。
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