[实用新型]一种曝光机真空密合装置有效
申请号: | 201720087261.0 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN206400265U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 陈振才 | 申请(专利权)人: | 东莞市多普光电设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市惠邦知识产权代理事务所44271 | 代理人: | 殷齐齐 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 真空 装置 | ||
1.一种曝光机真空密合装置,其特征在于,包括上框架和下框架,所述上框架与下框架的末端设置有活动枢接的上连接件和下连接件,在所述下框架的末端中部还设置有一球形关节,所述上框架的末端中部设有与该球形关节连接的连接罩体,在所述上框架和下框架的中端均活动连接有一传动件,所述传动件连接有张开气缸,所述张开气缸设置于所述下框架的侧沿,所述上框架和下框架均分别设置有上玻璃和下玻璃,所述下玻璃的周边设置有环形的气密胶条,在所述下框架上设置有充气孔以及抽气孔,所述抽气孔设置于气密胶条和下玻璃之间,所述气密胶条为充气式胶条,所述气密胶条设有与充气孔连通的通孔。
2.根据权利要求1所述的曝光机真空密合装置,其特征在于:所述下玻璃的四个角设置缺口,所述抽气孔的位置设于该缺口上。
3.根据权利要求1所述的曝光机真空密合装置,其特征在于:所述上连接件整体呈“L”字型,所述上连接件的末端形成顶接部,所述上连接件的内侧部设置有连接槽,所述上连接件通过设有的转轴配合连接槽与所述下连接件活动枢接。
4.根据权利要求3所述的曝光机真空密合装置,其特征在于:所述下连接件的后端设置有用于装配转轴的转孔,所述下连接件的前端部与顶端部之间形成过渡面。
5.根据权利要求4所述的曝光机真空密合装置,其特征在于:所述过渡面为方形面或者圆弧面。
6.根据权利要求1所述的曝光机真空密合装置,其特征在于:所述张开气缸与下框架的侧沿通过转轴活动连接。
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