[实用新型]一种曝光机的高精度定位及检测装置有效
申请号: | 201720088187.4 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN206411421U | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
发明(设计)人: | 陈振才 | 申请(专利权)人: | 东莞市多普光电设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市惠邦知识产权代理事务所44271 | 代理人: | 殷齐齐 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 高精度 定位 检测 装置 | ||
1.一种曝光机的高精度定位及检测装置,其特征在于,包括曝光机座,在所述曝光机座上设置有晒架组件,所述晒架组件包括上框架组件和下框架组件,在所述上框架组件的侧边上设置有多个上定位件,在所述下框架组件设置有与上定位件配合工作的下定位件,所述下定位件上设置有两个导向轮以及与上定位件大小匹配的定位孔,所述导向轮设置于所述定位孔的上方,在所述下框架组件的下端部设置有PCB顶起组件,在所述下框架组件的下方设置有光学检测装置,所述光学检测装置上设置有可自由移动的第一检测摄像机和第二检测摄像机。
2.根据权利要求1所述的曝光机的高精度定位及检测装置,其特征在于:所述PCB顶起组件包括设置于所述下框架组件底端部的顶起气缸,所述顶起气缸的输出端连接有顶起块,所述顶起块上设置有周边设置密封胶圈,所述下框架组件的端部设置有与所述顶起块配合的通孔。
3.根据权利要求1所述的曝光机的高精度定位及检测装置,其特征在于:所述上定位件整体呈“T”字型,所述上定位件的下端部设置有定位插柱,所述下定位件包括定位主座,所述定位孔设置于该定位主座的顶端部中心,在所述定位孔的开口两侧向上延伸形成装配部,所述导向轮通过转轴与所述装配部活动枢接。
4.根据权利要求3所述的曝光机的高精度定位及检测装置,其特征在于:所述定位插柱的下端部形成切割部。
5.根据权利要求1所述的曝光机的高精度定位及检测装置,其特征在于:所述下框架组件和上框架组件上共设置有四组配合的上定位件和下定位件,所述四组上定位件和下定位件分别设置下框架组件和上框架组件的四侧边的中 部。
6.根据权利要求1所述的曝光机的高精度定位及检测装置,其特征在于:所述光学检测装置还包括固设于下框架组件的检测主座,所述检测主座上设置有第一导轨、左右驱动电机以及与左右驱动电机连接的传动螺杆,所述传动螺杆连接有第一检测连接座,所述第一检测摄像机设置于该第一检测连接座上,在所述检测主座上设置有左右移动气缸,所述左右移动气缸连接有第二检测连接座,所述第二检测摄像机设于第二检测连接座上,所述第一检测连接座和第二检测连接座均与所述第一导轨连接,在所述检测主座的下端设置有电子光学尺。
7.根据权利要求6所述的曝光机的高精度定位及检测装置,其特征在于:所述第一检测连接座上和第二检测连接座上均设置有第二导轨和第二气缸,所述第二导轨上连接有装配座,所述装配座与所述第二气缸连接,所述第一检测摄像机和第二检测摄像机分别设置于第一检测连接座上和第二检测连接座上的装配座。
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