[实用新型]用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统

权利要求书

1.用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，包括用于产生激光的激光平台、划刻平台、用于输送柔性衬底薄膜太阳能电池的卷绕平台；所述激光平台为划刻平台提供用于划线的激光光束，划刻平台对由卷绕平台输送的柔性衬底薄膜太阳能电池划线；其特征是：

所述划刻平台包括基座(8)、XY轴工作台(9)、CCD成像装置(10)、照明装置(11)、聚焦镜(13)、光路转换附件(15)、吸附平台(16)；

所述基座(8)上设有XY轴工作台(9)，

所述XY轴工作台(9)安装有CCD成像装置(10)、照明装置(11)、聚焦镜(13)、光路转换附件(15)；所述XY轴工作台(9)可带动CCD成像装置(10)、照明装置(11)、聚焦镜(13)、光路转换附件(15)移动；所述照明装置(11)为CCD成像装置(10)提供成像补光；所述激光光束经光路转换附件(15)折射至聚焦镜(13)，激光光束途径聚焦镜(13)照射柔性衬底薄膜太阳能电池进行划线；

所述吸附平台(16)位于XY轴工作台(9)下方；

所述卷绕平台包括张力控制装置(20)、收卷辊(21)、放卷辊(22)、打标装置(23)、定位识别装置(24)，所述柔性衬底薄膜太阳能电池从放卷辊(22)放料由收卷辊(21)收卷，所述收卷辊(21)、放卷辊(22)分别位于吸附平台(16)两侧，所述张力控制装置(20)、打标装置(23)、定位识别装置(24)分别设置在收卷辊(21)与放卷辊(22)之间柔性衬底薄膜太阳能电池的输送途径上；所述张力控制装置(20)调节柔性衬底薄膜太阳能电池输送时的张力，打标装置(23)对柔性衬底薄膜太阳能电池打上标记，定位识别装置(24)识别打标装置(23)所打的标记。

2.如权利要求1所述的用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，其特征是：还包括飞行光路，所述激光平台产生的激光光速经飞行光路折射至划刻平台，所述飞行光路包括反射镜(6)、光学爬高架(7)，反射镜(6)安装在光学爬高架(7)，所述光学爬高架(7)调控反射镜(6)的高度和角度。

3.如权利要求1所述的用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，其特征是：所述卷绕平台还包括静电消除装置(25)，静电消除装置(25)消除柔性衬底薄膜太阳能电池静电。

4.如权利要求1所述的用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，其特征是：所述卷绕平台还包括寻边装置(19)、气缸；所述气缸连接收卷辊(21)，气缸可推动收卷辊(21)滑动，寻边装置(19)设置在收卷辊(21)的端部，寻边装置(19)检测卷绕在收卷辊(21)上柔性衬底薄膜太阳能电池端面的齐整度；当寻边装置(19)检测到的数据超出设定范围时，气缸推动收卷辊(21)作出优化调整。

5.如权利要求1所述的用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，其特征是：所述吸附平台(16)包括吸附板及真空泵，所述吸附板包括设有抽气孔的孔面、与抽气孔连通的抽气管路，所述真空泵连接抽气管路；柔性衬底薄膜太阳能电池设在孔面，真空泵抽气时，柔性衬底薄膜太阳能电池吸附在孔面。

6.如权利要求1或5所述的用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，其特征是：吸附平台(16)旁设有除尘系统，所述除尘系统包含吹尘装置(17)、吸尘装置(18)；所述吹尘装置(17)、吸尘装置(18)分别设置在吸附平台(16)相对的两侧，吹尘装置(17)将柔性衬底薄膜太阳能电池因划线产生的尘埃吹向吸尘装置(18)，吸尘装置(18)吸尘收集。

7.如权利要求1所述的用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，其特征是：所述激光平台包括激光器(1)、固定支架(5)、循环水冷却系统(2)、激光衰减器(3)、扩束镜(4)；所述激光器(1)、激光衰减器(3)、扩束镜(4)固定安装在固定支架(5)；所述循环水冷却系统对激光器(1)冷却。

8.如权利要求7所述的用于制造柔性衬底太阳能电池的激光划线系统，其特征是：所述激光器(1)发射波长为200nm-1600nm，频率为1KHz-1000KHz。