[实用新型]多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压多孔挡板装置

权利要求书

1.多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压多孔挡板装置，其特征在于，该装置包括偏压电源（1）、弧电源（2）、电弧离子镀靶源（3）、多级磁场装置（4）、多级磁场电源（5）、内衬正偏压多孔型挡板装置（6）、正偏压电源（7）、样品台（8）、偏压电源波形示波器（9）和真空室（10），内衬正偏压多孔型挡板装置（6）与真空室（10）和多级磁场装置（4）之间绝缘；待处理基体工件置于真空室（10）内的样品台（8）上，工件和样品台（8）接偏压电源（1）的负极输出端，电弧离子镀靶源（3）安装在真空室（10）上，接弧电源（2）的负极输出端，多级磁场装置（4）的各级磁场接多级磁场电源（5）的各个输出端，内衬正偏压多孔型挡板装置（6）接正偏压电源（7）的正极输出端，电弧离子镀靶源（3）和多级磁场装置（4）通过水冷方式避免工作过程中的温度升高问题；内衬正偏压多孔型挡板装置（6）与多级磁场装置（4）之间活动绝缘装配在一起，内衬正偏压多孔型挡板装置（6）的多孔挡板间距和多级磁场装置（4）的各级磁场长度相配合，内衬正偏压多孔型挡板装置（6）多孔挡板的外径小于多级磁场装置（4）的内径；内衬正偏压多孔型挡板装置（6）配合多级磁场装置（4）设计挡板上孔的类型、大小和挡板的间距，挡板通过螺栓连接和利用螺母进行位置固定，便于拆解组装和清理污染物；通过内衬正偏压多孔型挡板装置（6）多孔挡板中的孔径大小、类型变化及各级挡板的结构组合，实现对大颗粒的机械阻挡屏蔽；内衬正偏压多孔型挡板装置（6）的材料选择无磁性、耐清理的304不锈钢材料，所使用装置还包括偏压电源波形示波器（9），显示偏压电源（1）发出的脉冲电压和电流波形，偏压电源（1）输出脉冲为单脉冲、直流脉冲复合或多脉冲复合。

2.根据权利要求1所述的多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压多孔挡板装置，其特征在于，工作气体选用氩气，或工作气体选用氮气、乙炔、甲烷、硅烷或氧气中一种或多种的混合气体，来制备纯金属薄膜、不同元素比例的化合物陶瓷薄膜及具有纳米多层或梯度结构的薄膜。