[实用新型]一种高性能真空计传感器

说明书

技术领域

本实用新型属于真空计传感器技术领域，涉及一种高性能真空计传感器。

背景技术

规管是真空计传感器的关键部件，目前大多数规管采用金属管壳，在低真空度测量过程中，电阻丝与管壳内壁不能有效配合，存在响应慢、不稳定等特点，从而导致测量的准确性不高，另外，金属材质摩擦力较小，容易从手中脱落，不方便安装或者拆卸。为解决上述问题，现提供一种技术方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高性能真空计传感器，该规管具有测量准确、响应迅速、性能稳定、安装方便的优点，可以满足从常压到0.1Pa气体环境的真空度测量要求。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种高性能真空计传感器，包括电阻丝、引线、管壳，所述管壳顶部设置有管壳一，管壳一中部设有贯穿的通孔，该通孔的外部设有多面体形状的玻璃管，通孔的上侧密封设有玻璃层；所述管壳一下端面连接有管壳二，管壳二的中部设有通孔，该通孔的内壁上设置有弧形凹面，弧形凹面与电阻丝的弧形凸面紧密配合；管壳二下端面连接有管壳三，管壳三呈圆柱形设置，其外部附着有塑料层，塑料层呈正多边形设置。

所述电阻丝与通孔的内壁凹面均为六个半圆弧形。

所述玻璃管为六个八面体。

所述塑料层呈正十边形。

本实用新型的有益效果：本实用新型设置有六个玻璃管，可以使真空计传感器响应性能增强，玻璃材质导热迅速，且耐腐蚀，可以适用于从常压到0.1Pa气体环境的真空度测量要求；管壳二与电阻丝的紧密配合可以减少真空计传感器的热量损失，同时增加真空计传感器的感应性能，提高真空计感应器的测量准确性；塑料层材质轻便，正十边形状的设置可以增加摩擦力，可以使安装、拆卸变得方便快捷。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型一种高性能真空计传感器主视示意图；

图2是图1的俯视示意图；

图3是图1的纵向剖面视图；

图4是图3中A-A横截面示意图；

图5是图3中B-B横截面示意图；

图中标示：11-管壳一,111-玻璃层，112-玻璃管，12-管壳二，13-管壳三，131-塑料层，14-管壳四，2-电阻丝，3-引线，4-管壳。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供一种高性能真空计传感器，可以满足从常压到0.1Pa气体环境的真空度测量要求。

一种高性能真空计传感器，参见图1-5，包括电阻丝2、引线3、管壳4；

其中，管壳4包括一体设置的管壳一11、管壳二12、管壳三13、管壳四14；

管壳一11呈圆柱形设置，其位于管壳4顶部，管壳一11由不锈钢制成；管壳一11中部设有贯穿的正六角星形状通孔，该通孔的外角部均布设有一玻璃管112，该玻璃管112为正六边形的八面体；上述通孔的上侧密封设有玻璃层111；玻璃材质导热迅速，而且耐腐蚀，设置有六个玻璃管112可以使真空计传感器响应性能增强，同时可以适用于从常压到0.1Pa气体环境的真空度测量要求；

管壳一11下端面连接有管壳二12，管壳二12呈圆柱形设置，其由不锈钢制成，管壳二12的中部有一个圆柱形通孔，该通孔的内壁上均匀设置有六个弧形凹面，每一个弧形凹面与电阻丝2的弧形凸面紧密配合，电阻丝2为用电阻温度系数较高的电阻丝绕制的圆柱螺旋形热丝，热丝两端用引线3引出规管1，接测量线路；管壳二12与电阻丝2的紧密配合可以减少真空计传感器的热量损失，同时增加真空计传感器的感应性能，提高真空计感应器的测量准确性；

管壳二12下端面连接有管壳三13，管壳三13呈圆柱形设置，其外部附着有塑料层131，塑料层131呈正十边形设置；塑料层131材质轻便，正十边形状的设置可以增加摩擦力，可以使安装、拆卸变得方便快捷；

管壳三13下端面连接有管壳四14，管壳四14与测量线路上的电子器件连接。