[实用新型]玻璃基板微观检查机

说明书

技术领域

本公开涉及玻璃基板的微观检测领域，具体地，涉及一种玻璃基板微观检测机。

背景技术

当前，随着技术的发展与市场的需求，对平板显示玻璃基板像素及开口率的要求愈来愈高，因此平板显示玻璃基板布线向微细化方向发展，平板显示玻璃基板阵列细胞化方向发展，导致检查平板显示玻璃基板缺陷更加困难。

目前市场上的微观检查机使用光学显微镜进行微观检测，但是由于只能从光学显微镜这一侧向玻璃基板照明，导致成像比较模糊，在分析缺陷成因时，存在技术障碍，无法根据成像照片准确判断前端工艺存在的问题。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种玻璃基板微观检查机，该玻璃基板微观检查机在微观检查玻璃基板时，能提升光学显微镜成像照片清晰度以便于分析缺陷的种类。

为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板微观检查机，包括光学显微镜和驱动该光学显微镜沿垂直于玻璃基板传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置，所述玻璃基板微观检测机还包括照明装置以及驱动所述照明装置随所述光学显微镜同步运动的第二驱动装置，其中所述光学显微镜与所述照明装置分别位于所述玻璃基板的上下两侧，并且使得所述光学显微镜的镜头与所述照明装置在所述玻璃基板上的投光点沿竖直方向对齐设置。

可选地，所述照明装置沿竖直方向投光，所述照明装置沿竖直方向位于所述镜头的正下方。

可选地，所述第二驱动装置包括伺服电机和由该伺服电机驱动的同步带电缸，所述照明装置安装在沿所述宽度方向延伸的该同步带电缸上。

可选地，所述第一驱动装置包括伺服直线电机，所述光学显微镜可滑动地安装在沿所述宽度方向延伸的第一横梁上，并通过所述伺服直线电机驱动。

可选地，所述玻璃基板微观检查机还包括控制所述伺服直线电机和所述伺服电机同步工作的控制系统。

可选地，所述同步带电缸通过沿所述宽度方向间隔布置的多个支腿支撑。

可选地，所述玻璃基板由气浮平台传送，所述光学显微镜沿所述宽度方向在所述气浮平台的上方运动，所述照明装置沿所述宽度方向在所述气浮平台的下方运动，所述气浮平台上设置有沿所述宽度方向延伸的狭缝，该狭缝位于所述投光点的正下方。

可选地，所述照明装置包括安装座、灯箱和透镜，所述安装座与所述第二驱动装置相连，所述灯箱安装在所述安装座上方，所述透镜安装在所述灯箱的上方。

可选地，所述灯箱和所述透镜之间安装有焦距调节机构。

可选地，所述焦距调节机构包括调节电机、主动轮和焦距调节旋钮，所述调节电机安装在所述灯箱的侧壁并且输出轴沿竖直方向向上延伸，所述主动轮安装在所述输出轴上并通过皮带与所述焦距调节旋钮传动相连，以通过该所述焦距调节旋钮的转动调节所述透镜和所述灯箱之间的距离。

通过上述技术方案，由于配置了位于玻璃基板下方的照明装置，并且使投光点和镜头竖直对齐，能够大幅提升光学显微镜成像照片的清晰度，便于分析缺陷的种类。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是本公开示例性实施方式提供的玻璃基板检查机安装状态下的立体结构示意图；

图2是图1中A部的放大结构示意图；

图3是光学显微镜和照明系统工作状态下的侧视结构视图；

图4是本公开示例性实施方式提供的照明装置和第二驱动装置在安装状态下的立体结构示意图；

图5是图4装置的侧视结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、竖直方向”是以本公开提供的检查机正常工作的状态下定义的，“内、外”则是是指相应部件轮廓的内和外。