[实用新型]一种用于硅片清洗的清洗装置

权利要求书

1.一种用于硅片清洗的清洗装置，其特征在于：包括清洗水槽（1）、设置在清洗水槽（1）内的摆动底座（2）和用于放置待清洗硅片的片盒架（3），片盒架（3）通过联动插杆（4）可拆卸的设置在摆动底座（2）上，所述摆动底座（2）包括用于承载片盒架（3）的承物板（202），承物板（202）底壁中部设置有带动承物板（202）往复定格摆动的摆动轴（203），摆动轴（203）由摆动气缸（201）带动其摆动，所述片盒架（3）由片台（301）和固定安装在片台（301）上且其上承载有待清洗硅片的片盒（302）构成，片台（301）上开设有插杆孔a，承物板（202）上开设有插杆孔b，插杆孔a和插杆孔b在竖直方向上的投影相重合，联动插杆（4）穿设在插杆孔a和插杆孔b内从而将片台（301）和承物板（202）连接在一起，进而使摆动底座（2）带动片盒架（3）往复摆动，以使硅片在清洗水槽（1）内得到彻底清洗，所述联动插杆（4）由J形握杆（401）和与J形握杆（401）螺纹连接的销钉头（402）构成，J形握杆（401）直杆体的一端具有沿轴向的螺纹通孔（403），销钉头（402）上设置有与螺纹通孔（403）相配合的外螺纹（404）。

2.如权利要求1所述的一种用于硅片清洗的清洗装置，其特征在于：所述J形握杆（401）为实心聚丙烯握杆。

3.如权利要求1所述的一种用于硅片清洗的清洗装置，其特征在于：所述片盒（302）通过连接架（303）与片台（301）连接。