[实用新型]一种单晶炉转轴冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒生产制造时所用的单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉转轴冷却装置。

背景技术

单晶炉是单晶硅棒拉制中的重要设备，设备的正常运转是保证单晶硅棒正常拉制的关键因素。在拉制硅单晶硅棒的过程中，单晶炉的转轴带动坩埚转动，转轴位于单晶炉高温炉台内部，因此需要对转轴进行冷却以保证转轴正常工作，并延长转轴的使用寿命。

现有技术中对单晶炉转轴进行冷却的冷却装置结构复杂，冷却效果差，造成转轴经常损坏，严重影响生产。且现有技术中采用水套对转轴进行冷却降温时，水套在转轴的转动作用下容易发生周向位移，容易损坏水套，轻者造成冷却水泄露，重者会损坏单晶炉，影响生产。

实用新型内容

为解决对单晶炉转轴进行冷却的冷却装置的冷却效果差以及采用水套冷却时水套容易损坏的技术问题，本实用新型的目的是提供一种单晶炉转轴冷却装置，冷却效果好，且不易损坏，保证生产效率，降低生产成本。

本实用新型所采用的技术方案是：一种单晶炉转轴冷却装置，该单晶炉的坩埚在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架上，坩埚的底部固定连接有通过减速电机带动旋转的转轴以使转轴带动坩埚旋转，转轴的下端伸入冷却装置的水套内，以使水套内的冷却水对转轴进行冷却降温，水套通过连接件与升降机构连接，进而实现水套与转轴同时上升或下降，在水套上设置有分别与水套贯通连接的循环进水管和循环出水管，且循环出水管位于循环进水管的正上方，所述冷却装置还包括固定安装在机架上的用以防止水套发生周向位移的限位架，限位架包括两个分别位于循环出水管两侧的竖向限位板，两个竖向限位板通过位于循环出水管上方的横向连接板a固定连接后形成限制循环出水管和循环进水管周向移动的限位框，两个竖向限位板中靠近减速电机的竖向限位板向上延伸并与承担减速电机重量的横向连接板b的一端垂直固定连接，横向连接板b的另一端延伸出机架后与竖向连接板的一端垂直固定连接，竖向连接板的另一端与横向连接板c的一端固定连接，横向连接板c的另一端通过螺丝钉固定在机架上。

所述横向连接板a、横向连接板b和横向连接板c相互之间呈平行设置。

所述竖向限位板和竖向连接板平行设置。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

一、本实用新型中水套随转轴同时上升或下降，保证时刻对转轴进行冷却，冷却效果好，所设置的限位架防止水套发生周向位移，使水套在上升或下降的过程中不会因为卡到单晶炉的其它构件而损坏；

二、本实用新型中的限位架在保证自身强度的同时不影响减速电机的正常运转，方便实用；

三、本实用新型不易损坏，使用寿命长，从而使单晶炉能正常工作，保证生产效率，同时降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中标记：1、坩埚 ，2、转轴，3、水套，4、限位架，401、竖向限位板，402、横向连接板a，403、横向连接板b，404、竖向连接板，405、横向连接板c，406、螺丝钉，5、循环进水管，6、循环出水管，7、机架，8、减速电机。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作详细说明，本实施例以本实用新型技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。