[实用新型]一种单晶炉电极稳定支撑装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒生产制造时所用的单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉电极稳定支撑装置。

背景技术

单晶炉是单晶硅拉制中的重要设备，单晶炉在使用时需通过电极向其供电，因此电极的固定位置和固定的稳定性是保证单晶炉正常工作的重要因素。

目前，电极是通过一个旋转螺帽将其压紧在单晶炉炉底盘上，这种固定方式容易导致电极松动，进而使单晶炉真空度降低，气密性受到影响，降低了生产效率。

同时，在生产过程中，单晶炉内部的挥发物在电极绝缘磁环四周积累，降低了绝缘磁环的绝缘度，从而导致需要经常更换绝缘磁环，费时费力并增加生产成本。

实用新型内容

为了解决电极容易松动以及需要经常更好绝缘磁环的技术问题，本实用新型的目的是提供一种单晶炉电极稳定支撑装置，使电极位置固定不动，能更加稳定的支撑电极，保证生产效率，降低了绝缘磁环的更换频率，节省成本。

本实用新型所采用的技术方案是：一种单晶炉电极稳定支撑装置，所述单晶炉通过横梁支撑，在单晶炉的炉底盘上设置有向单晶炉供电的电极，电极的一侧设置有一个水冷管，电极通过稳定支撑装置设置在炉底盘上，稳定支撑装置包括不锈钢连接板和位于不锈钢连接板下方的绝缘支撑板，不锈钢连接板的一端通过多个螺丝钉a与绝缘支撑板的一端固定连接，不锈钢连接板的另一端开设有长条形通孔且通过穿设在该长条形通孔上的螺丝钉b与横梁固定连接，通过调节螺丝钉b在长条形通孔内的位置从而实现调节稳定支撑装置与电极之间的距离，所述绝缘支撑板由板状的连接段和条状的支撑段构成，其中，连接段的一侧通过弧形避让部与支撑段连接，另一侧通过导向槽部与支撑段连接，支撑段上开设有螺孔，螺孔内穿设有用以顶紧电极的螺丝钉c。

所述螺丝钉a共有3个，且3个螺丝钉a呈等边三角形分布。

所述不锈钢连接板与绝缘支撑板之间设置有稳定块，稳定块通过螺丝钉a与不锈钢连接板和绝缘支撑板固定连接。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

一、本实用新型所述的一种单晶炉电极稳定支撑装置保证了电极安装后其位置固定不动，能更加稳定的支撑电极，保证电极正常工作同时保证生产效率；

二、本实用新型中的绝缘支撑板具有绝缘性能，加强了电极绝缘磁环的绝缘性能，同时降低了绝缘磁环的更换频率，节省成本，并且在更换绝缘磁环时更加快捷方便；

三、不锈钢连接板可通过长条形通孔改变其与螺丝钉b的相对位置从而实现调节稳定支撑装置与电极之间的距离，使本实用新型适用范围广，并且通过本实用新型能快速安装电极，方便实用；

四、绝缘支撑板的连接段的一侧通过弧形避让部与支撑段连接，在保证了绝缘支撑板强度的同时配合了水冷管的安装，一举多得，连接段的另一侧通过导向槽部与支撑段连接，在保证了绝缘支撑板强度的同时保证了螺孔的位置，定位更加精准，使本实用新型稳定性更强。

附图说明

图1是稳定支撑装置与炉底盘相配合的结构示意图；

图2是本实用新型的俯视结构示意图；

图中标记：1、横梁 ，2、炉底盘，3、电极， 4、稳定支撑装置，401、不锈钢连接板，402、绝缘支撑板，4021、连接段，4022、支撑段，4023、弧形避让部，4024、导向槽部，403、螺丝钉a，404、长条形通孔，405、螺丝钉b，406、螺丝钉c，407、稳定块。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作详细说明，本实施例以本实用新型技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。