[实用新型]一种碳化硅烧结炉

权利要求书

1.一种碳化硅烧结炉，其特征在于：包括带有前后炉门的圆筒形炉体，控制炉体升温速度及升温曲线的控制器，为炉体提供冷却循环水的循环冷却装置，抽取炉体内空气的抽真空装置；

所述炉体内侧相邻设置有圆筒形炉套，所述圆筒形炉套内侧设置有与其水平相接的长方筒体隔热保护套，所述隔热保护套内侧设置有长方筒形电阻件，电阻件内水平固定放置有托物盘；所述隔热保护套通过支撑杆固定于炉体上，所述前、后炉门上分别设有与长方筒体隔热保护套相吻合的方形保温垫；所述电阻件还设置有伸出炉体外的电极，所述电极连接调压器，所述调压器与干式变压器连接，所述调压器同时与控制器连接，控制器通过控制调压器来实现控制炉体升温速度与升温曲线。

2.根据权利要求1所述的碳化硅烧结炉，其特征在于：所述炉体外设置有于炉体连接的温度测量器及压力测量器，所述温度测量器包括电阻温度传感器及红外光学温度传感器；所述压力测量器包括真空压力表及数字电阻真空计。

3.根据权利要求2所述的碳化硅烧结炉，其特征在于：所述隔热保护套采用保温效果好的碳纤维制成。