[实用新型]一种新型硅片吹干风刀有效

专利信息
申请号: 201720117569.5 申请日: 2017-02-08
公开(公告)号: CN207299875U 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 张慧 申请(专利权)人: 苏州慷伲芬自动化有限公司
主分类号: F26B21/00 分类号: F26B21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 硅片 吹干
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及硅片片生产技术领域,尤其涉及一种新型硅片吹干风刀。

背景技术

硅片,又叫做“芯片”、集成电路块。一只硅片里面通常含有数十到数万个硅晶体管组成的电路,完成一个或者数个功能。

现有的装置在对硅片进行吹干时,其风嘴面积太小,使用者在吹干时一次只能针对一个地方,不能够用大面积的一次性进行吹干,在吹干的过程中会把水渍飞溅到吹干的硅片上,使吹干质量的下降,造成假干现象,影响后续工作,也延长了劳动时间,有的装置在使用时,只能针对一个角度进行吹干,还需要人工调节角度,增加了劳动力,降低了劳动效率,且结构简单,设计合理,操作方便,安全可靠。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术的不足,提供了一种新型硅片吹干风刀。

本实用新型是通过以下技术方案实现:

一种新型硅片吹干风刀,包括刀壳,所述刀壳表面中部设有主进气口,所述主进气口两侧设有进气管道,所述进气管道下侧通风孔,所述刀壳下侧设有风刀体,所述风刀体下侧设有风刀面,所述风刀面下侧表面设有与通风孔相对应的第一排吹风孔、第二排吹风孔和第三排吹风孔。

作为本实用新型的优先技术方案,所述通风孔至少有4个。

作为本实用新型的优先技术方案,所述通风孔直径为1~10mm,且两个相邻的通风孔之间的距离10-30mm。

作为本实用新型的优先技术方案,所述刀壳与风刀体密封固定连接。

作为本实用新型的优先技术方案,所述风刀体为梯形结构。

作为本实用新型的优先技术方案,所述第一排吹风孔、第二排吹风孔和第三排吹风孔相互平行且错开排列。

作为本实用新型的优先技术方案,所述第一排吹风孔与第二排吹风孔间距为3mm,第一排吹风孔与第三排吹风孔间距为8mm,且孔深均为5mm孔径均为1mm。

作为本实用新型的优先技术方案,所述第一排吹风孔、第二排吹风孔和第三排吹风孔与风刀面夹角为0°-10°。

与现有的技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型通过设有主进气口和进气管道,在使用时更好的对风进行更广范围的扩散,提升了对硅片的吹干的面积,通过设有第一排吹风孔,第二排吹风孔和第三排吹风孔,在使用时不同角度的将风扩散对硅片进行吹干,避免造成假干现象,对后续工作造成影响,降低工作效率,且结构简单,设计合理,操作方便,安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的侧视图。

图3为本实用新型的俯视图。

图4为本实用新型的仰视图。

图中:1、刀壳,2、主进气口,3、进气管道,4、通风孔,5、风刀体,6、风刀面,7、第一排吹风孔,8、第二排吹风孔,9、第三排吹风孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:

一种新型硅片吹干风刀,包括刀壳1,所述刀壳1上侧中部设有主进气口2,所述主进气口2下侧设有进气管道3,所述进气管道3 下侧均匀设有通风孔4,所述通风孔4至少有4个,所述通风孔4直径为1~10mm,且两个相邻的通风孔4之间的距离10-30mm,所述刀壳1下侧设有风刀体5,所述刀壳1与风刀体5密封固定连接,所述风刀体5为梯形结构,所述风刀体5下侧设有风刀面6,所述风刀面 6下侧表面均匀设有与通风孔4相对应的第一排吹风孔7、第二排吹风孔8和第三排吹风孔9,所述第一排吹风孔7、第二排吹风孔 8和第三排吹风孔8与风刀面6夹角为0°-10°,所述第一排吹风孔7、第二排吹风孔8和第三排吹风孔9相互平行且错开排列,所述所述第一排吹风孔7与第二排吹风孔7间距为3mm,第一排吹风孔7 与第三排吹风孔9间距为8mm,且孔深均为5mm孔径均为1mm。

现场使用时,将改装置放到合适的位置,风通过主进气口2进入刀壳1,由于主进气口2两侧设有进气管道3,进气管道3下侧表面设有通风孔4,对进入刀壳1内部的分进行扩散,通风孔4下侧设有相对应的第一排吹风孔7、第二排吹风孔8和第三排吹风孔8,进行对硅片吹干。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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