[实用新型]一种多晶硅还原尾气节能喷淋回收氯硅烷装置有效
| 申请号： | 201720118441.0 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN206529298U | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘德华;芮元庆;杨少敏 | 申请（专利权）人： | 南京合创工程设计有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 210048 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 尾气 节能 喷淋 回收 硅烷 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅还原尾气节能喷淋回收氯硅烷装置，其特征在于：包括喷淋洗涤塔（1）、气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）、深冷器（4）、洗涤气气液分离罐（5）、液液换热器（7）、洗涤液循环泵（6）和冷凝液回收泵（8），所述喷淋洗涤塔（1）的进气口连接还原尾气的出口，喷淋洗涤塔（1）的出气口依次连接所述气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）和深冷器（4），气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）和深冷器（4）相互级联，同时气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）和深冷器（4）还分别与所述洗涤气气液分离罐（5）相连，洗涤气气液分离罐（5）的出口通过所述冷凝液回收泵（8）与液液换热器（7）相连，所述液液换热器（7）的两端分别与喷淋洗涤塔（1）的底部出液口和上部进液口相连接，并通过设置洗涤液循环泵（6）构成洗涤液循环回路，液液换热器（7）的出口连接回收硅烷去精馏装置。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原尾气节能喷淋回收氯硅烷装置，其特征在于：所述喷淋洗涤塔（1）的进气口和出气口之间设有用于接触反应的填料。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原尾气节能喷淋回收氯硅烷装置，其特征在于：所述洗涤液循环泵（6）设置在喷淋洗涤塔（1）的底部出液口和液液换热器（7）之间。
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