[实用新型]基片储运盒

权利要求书

1.基片储运盒，包括基片盒（1）、工具盒（2）和盖体（3），其特征在于：工具盒（2）的底部套在基片盒（1）的上部，盖体（3）盖在工具盒（2）上，所述基片盒（1）由隔板分成三个区域，即大基片区、小基片区和压片区，大基片区占据基片盒（1）的3/4的空间，大基片区两条长边所在的侧壁上均固定有基片夹Ⅰ（14），基片夹Ⅰ（14）上每隔3mm设置1mm宽的垂直狭缝，基片Ⅰ（15）的边缘处夹在狭缝间；小基片区占据基片盒（1）剩余1/4空间的2/3，即1/6，小基片区四周均固定有基片夹Ⅱ（16），小基片区的斜对角线及平行于斜对角线处每隔3mm设置1mm宽的斜狭缝，基片Ⅱ（17）的边缘处夹在斜狭缝间；基片盒（1）剩余的1/12的空间为压片区，压片区用隔板Ⅲ（18）分隔成至少两个隔间，用于存放压片；所述工具盒（2）由盒体Ⅱ（21）、限位槽Ⅰ（22）和限位槽Ⅱ（23）组成，所述限位槽Ⅰ（22）由限位板Ⅰ（221）、头部槽体（222）和尾部槽体（223）组成，限位板Ⅰ（221）固定在盒体Ⅱ（21）上，头部槽体（222）和尾部槽体（223）分别为限位板Ⅰ（221）和盒体Ⅱ（21）表面凹陷而成的长方体形凹槽，且头部槽体（222）的一侧和尾部槽体（223）的一侧相接；限位槽Ⅱ（23）由限位板Ⅱ（231）、锥形套管（232）和镊子槽（233）组成，限位板Ⅱ（231）固定在盒体Ⅱ（21）上，锥形套管（232）设于限位板Ⅱ（231）的内部，为中空的锥形，锥形套管（232）的圆口位于限位板Ⅱ（231）的侧面，镊子槽（233）为盒体Ⅱ（21）表面凹陷而成的长方体形凹槽，其一侧与锥形套管（232）的圆口相接。

2.根据权利要求1所述的基片储运盒，其特征在于：所述的基片盒（1）、工具盒（2）和盖体（3）为等长等宽的长方体形结构。

3.根据权利要求1所述的基片储运盒，其特征在于：所述的基片夹Ⅰ（14）和基片夹Ⅱ（16）均呈梳状，材质为珍珠棉。

4.根据权利要求1所述的基片储运盒，其特征在于：所述的基片Ⅰ（15）为未经裁剪的基片，基片Ⅱ（17）为经裁剪之后的基片，压片在磁控溅射和离子束溅射设备中用来压基片，是尺寸小于2 mm×2 mm的基片。

5.根据权利要求1所述的基片储运盒，其特征在于：所述的限位槽Ⅰ（22）用于放置玻璃刀（4），头部槽体（222）盛放玻璃刀（4）的刀头，尾部槽体（223）用来放置玻璃刀（4）的刀柄；限位槽Ⅱ（23）用于放置镊子（5），镊子（5）的尖头部插入锥形套管（232）中，镊子（5）的尾部置于镊子槽（233）内。