[实用新型]一种氖气回收提纯装置

权利要求书

1.一种氖气回收提纯装置，其特征在于，包括：

收集罐，用于氖工业废气的收集；

过滤设备，用于对氖工业废气中的颗粒杂质进行过滤；

压缩机，对过滤后的氖工业废气进行压缩；其中：所述过滤设备独立设置，气体管道从收集罐出口依次连接过滤设备和压缩机；或者，过滤设备集成于所述收集罐内气体流路中，收集罐气体出口连接所述压缩机；

化学反应器，压缩机出口通过气体管道连接至所述化学反应器，所述化学反应器内设置有反应床，用于放置化学反应试剂；

一级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动管道；化学反应器气体出口连接至以及所述一级冷却设备的气体流动通道入口；

一级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，一级冷却设备气体流动通道出口连接至所述一级吸附纯化设备的气体入口管道；

二级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动通道；一级吸附纯化设备气体出口管道连接至所述二级冷却设备的气体流动通道入口；

闪蒸设备，通过气体管道连通所述二级冷却设备的出口；

二级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，闪蒸设备气体出口连接至所述二级吸附纯化设备的气体入口管道。

2.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述压缩机的气体流动通道出口处还设置有油过滤器。

3.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，闪蒸设备废液出口连接至二级冷却设备的冷却剂流动通道。

4.根据权利要求1或3所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述氖气回收提纯装置还包括一壳体，所述二级冷却设备与所述闪蒸设备置于所述壳体内。

5.根据权利要求4所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述壳体内设有液体流动通道夹层作为冷却剂流动通道，闪蒸设备废液出口连接至所述液体流动通道夹层。

6.根据权利要求5所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，还包括真空泵，用于将壳体内液体流动通道夹层抽真空。

7.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述一级吸附纯化设备、二级吸附纯化设备分别独立地为至少两个，所述至少两个一级吸附纯化设备或二级吸附纯化设备并联排布。

8.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述闪蒸设备为至少两个，所述至少两个闪蒸设备并联排布。

9.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，每一个闪蒸设备下游连接一个所述二级吸附设备，或者各闪蒸设备连接同一个所述二级吸附纯化设备。

10.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述二级吸附纯化设备出口管道通过二级冷却设备、并与所述二级冷却设备的气体流动通道入口换热。