[实用新型]一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪

权利要求书

1.一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，该光腔衰荡光谱仪包括宽波段可调谐激光光源、光强调节系统、光路自动切换系统、光学谐振腔阵列和光强检测及数据采集系统；

所述宽波段可调谐激光光源用于实现不同波长下激光的输出；

所述光强调节系统用于对不同波长激光光强进行均一；

所述光路自动切换系统用于使得经所述宽波段可调谐激光光源输出的各种波长的激光均能发射到相对应某个波长范围的所述光学谐振腔阵列内的光学谐振腔中；

所述光强检测及数据采集系统用于接收和记录经所述光学谐振腔阵列出射的激光，同时记录经所述宽波段可调谐激光光源输出的激光波长。

2.如权利要求1所述的一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，所述宽波段可调谐激光光源包括激光器、光参量振荡器和控制器，所述激光器将产生的泵浦激光发送到所述光参量振荡器，所述控制器根据试验所需波长控制所述光参量振荡器内的晶体和棱镜自动转到指定位置实现激光波长的选择性输出，同时所述控制器将所选择的波长信息发送到所述光强检测及数据采集系统的数据采集器内进行记录，经所述光参量振荡器输出的某一波长的激光发射到所述光强调节系统进行光强调节。

3.如权利要求2所述的一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，当所述光参量振荡器输出的激光为紫外光时，所述光强调节系统包括一光阑和一连续可调型中性密度滤波片，经所述光参量振荡器输出的激光发送到所述光阑收缩光束，经所述光阑出射的激光发射到所述光学谐振腔。

4.如权利要求2所述的一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，当所述光参量振荡器输出的激光为可见光或红外光时，所述光强调节光路包括一反射型中性密度滤波片、一光阑和一连续可调型中性密度滤波片，经所述光参量振荡器输出的激光先经所述反射型中性密度滤波片将光强进行一次衰减，经所述反射型中性密度滤波片出射光经所述光阑收缩光束后再经所述连续可调型中性密度滤波片调节光强发射到所述光路自动切换系统。

5.如权利要求4所述的一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，所述光路自动切换系统包括若干电动升降光路反射镜，每一所述电动升降光路反射镜均通过一升降镜架支撑固定，每一所述升降镜架均通过一电缆电连接所述控制器，所述升降镜架内置马达，经所述光强调节系统输出的激光反射到某一所述升降光路反射镜，所述控制器通过控制所述电缆调节相应所述升降镜架的降落或升起，从而使激光经某一电动升降光路反射镜反射进入相应的光学谐振腔。

6.如权利要求2或3或4或5所述的一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，所述光学谐振腔阵列包括若干纵向平行间隔设置的光学谐振腔，若干不同的所述光学谐振腔的两端固定设置有若干组不同波长的高反射镜片，每一所述光学谐振腔的腔体两端固定设置有用于放置所述高反射镜的可调高反镜架，位于两所述高反射镜的一侧下部别设置有吹扫气流管用于进入吹扫气流对所述高反射镜进行吹扫，对应所述高反射镜的位置，所述光学谐振腔上还分别设置有光腔进气口和光腔出气口，所述光学谐振腔体内部两侧还设置有隔离模块。

7.如权利要求2或3或4或5所述的一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，所述光强检测及数据采集系统包括与所述光学谐振腔数量相同的聚焦透镜、一分束光纤、一光电倍增管、一示波器和一数据采集器，经所述光学谐振腔出射的激光经所述聚焦透镜聚焦到所述分束光纤的中心，所述分束光纤将出射的激光汇集所述光电倍增管，经所述光电倍增管进行光电转换的信号分别发送到所述示波器和数据采集器，同时，所述控制器将经所述光参量振荡器输出的激光波长发送到所述数据采集器内。

8.如权利要求7所述的一种宽波段可调谐光腔衰荡光谱仪，其特征在于，所述数据采集器采用装设有高速数据采集卡的计算机。