[实用新型]一种管式PECVD石墨舟冷却房

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种管式PECVD石墨舟冷却房。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池，可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片，目前绝大多数都采用硅片制成。

光伏电池生产过程中，需要在光伏电池的半成品电池即硅片的表面镀上一层减反射膜。目前，采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，使气体在硅电池片表面发生化学反应并形成覆盖层，即减反射膜。此减反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的体钝化和表面钝化，以及利用氮化硅薄膜的强致密性和耐多数酸碱性，在硅片表面形成保护层。

现有的PECVD工序所使用的机型主要分为，板式PECVD和管式PECVD机台，而目前管式PECVD机台由于生产的电池片发电效率高、设备Uptime高等优势，已经逐步成为PECVD机台选型时的首选。

在PECVD工序中，石墨舟沉积完氮化硅后，在管式PECD机台下料处，如图1所示，将石墨舟1放置在石墨舟运输车2上后，人工将石墨舟运输车2推到冷却房5附近，再将石墨舟运输车2和石墨舟1一起，推进石墨舟冷却房5内进行冷却，石墨舟冷却房5主要是通过位于底部的冷却风扇4对石墨舟1进行冷却，在石墨舟1和冷却风扇4之间隔了一层石墨舟运输车2顶部的石墨舟运输车托板3，由于此石墨舟运输车托板3是半镂空设计，冷却风扇4吹出的风有50％会被石墨舟运输车托板3阻挡无法直接吹至石墨舟1处，严重影响了冷却的效果，延长了石墨舟的冷却时间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种管式PECVD石墨舟冷却房，能够明显改善石墨舟的冷却效果，减少冷却时间，提升产能。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房，所述冷却房的内部设置有冷却风扇，所述冷却房的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨，所述机械手臂移动导轨的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂，所机械手臂能够沿着所述移动槽移动，待冷却的石墨舟的两端分别开设有卡槽，一个所述机械手臂插入对应侧的一个所卡槽中配合，以将石墨舟悬挂于所述冷却风扇的上方。

作为一种优选方式，所述机械手臂移动导轨的长度c为80～120cm。

优选的，所述机械手臂移动导轨的长度c为100cm。

作为一种优选方式，所述机械手臂移动导轨的宽度d为20～40cm。

优选的，所述机械手臂移动导轨的宽度d为30cm。

作为一种优选方式，所述机械手臂的长度a为20～50cm。

优选的，所述机械手臂的长度a为35cm。

作为一种优选方式，所述机械手臂的宽度b为10～20cm。

优选的，所述机械手臂的宽度b为15cm。

作为一种优选方式，所述冷却房的顶部设置有排风口。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的管式PECVD石墨舟冷却房，在工作时，小推车从下料处将石英舟推至冷却房附近，通过机械手臂在石英舟的两端托住石英舟，利用机械手臂在移动槽中移动至冷却房内部进行冷却，这时，机械手臂作为支撑点，由于其支撑释放了石英舟底部的空间，因而由冷却风扇吹出的冷却风则可以直接到达石英舟，全面地穿过石英舟的各个角落，在冷却完成后，机械手臂再将石墨舟传送到石墨舟运输车上；其明显改善了石墨舟的冷却效果，减少了冷却时间，提升了产能。

附图说明

图1是现有技术中的冷却房的结构示意图；

图2是本实用新型具体实施方式1提供的管式PECVD石墨舟冷却房的结构示意图；

图3是图2中的机械手臂和机械手臂移动导轨连接的俯视结构示意图。

图中：1、石墨舟；2、石墨舟运输车；3、石墨舟运输车托板；4、冷却风扇；5、冷却房；6、排风口；7、机械手臂；8、机械手臂移动导轨。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。