[实用新型]红外探测器薄膜激光退火系统

权利要求书

1.红外探测器薄膜激光退火系统，其特征在于：包括激光器(1)、扩束准直镜(2)、光阑(3)、高反镜(4)、整形镜(5)、平凸柱面镜(6)、载物台(8)和位移平台(9)；

红外探测器放置在载物台(8)的表面，载物台(8)安装在位移平台(9)上；

激光器(1)、扩束准直镜(2)和光阑(3)位于同一直线上，整形镜(5)、平凸柱面镜(6)和载物台(8)位于同一直线上；

激光器(1)产生的激光光束依次经过扩束准直镜(2)和光阑(3)后入射到高反镜(4)，激光光束经高反镜(4)的反射后改变方向，并依次经过整形镜(5)和平凸柱面镜(6)后入射到载物台(8)上的红外探测器的薄膜表面。

2.根据权利要求1所述红外探测器薄膜激光退火系统，其特征在于：还进一步包括真空腔室(7)，载物台(8)放置在该真空腔室(7)内。

3.根据权利要求2所述红外探测器薄膜激光退火系统，其特征在于：真空腔室(7)内通入氩气、氦气或空气。

4.根据权利要求1所述红外探测器薄膜激光退火系统，其特征在于：位移平台(9)为XYZ三轴位移平台(9)。

5.根据权利要求1所述红外探测器薄膜激光退火系统，其特征在于：激光器(1)、扩束准直镜(2)和光阑(3)位于水平直线上，整形镜(5)、平凸柱面镜(6)和载物台(8)位于垂直直线上。

6.根据权利要求1所述红外探测器薄膜激光退火系统，其特征在于：激光器(1)射出的激光的波长为266nm、308nm或355nm。