[实用新型]一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统

权利要求书

1.一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统，其特征在于：所述系统由机架、高温管式炉、石英管、微波等离子体发生装置、微波等离子体刻蚀装置、磁力杆组成；所述石英管通过支撑机构固定在机架上；所述高温管式炉通过滑动轨道连接在机架上,沿石英管外壁径向移动；所述系统还包括进气组，所述进气组包括气源和进气石英管，所述进气石英管的一端从石英管进样端延伸至石英管中，另一端在石英管外与气源相连；所述微波等离子发生装置包围在石英管外的进气石英管外部；所述微波等离子体刻蚀装置包围在石英管外部，设置在磁力杆和高温管式炉之间。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统，其特征在于：所述进气组还包括气体质量流量控制器和阀门，所述气体质量流量控制器和阀门设置在气源和进气石英管之间，并通过导气管相连接；所述进气组分为两路，其中一路经过微波等离子体发生装置进入到石英管中；另一路直接进入石英管。

3.根据权利要求1所述的一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统，其特征在于：所述气源包括氩气、甲烷和氢气。

4.根据权利要求1所述的一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统，其特征在于：所述设备还包括真空系统和过压保护器，所述真空系统和过压保护器通过法兰连接到石英管进样端口。

5.根据权利要求4所述的一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统，其特征在于：所述真空系统包括真空泵和真空压力计，通过导气管与法兰相连接。

6.根据权利要求1所述的一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统，其特征在于：所述磁力杆与石英管的一端由法兰连接。