[实用新型]一种自动点火的微波等离子体炬装置

权利要求书

1.一种自动点火的微波等离子体炬装置，由外管(1)、中管(2)、内管(3)、隔圈(4)、微波耦合接口(5)、外管微波开口(6)、耦合杆(7)、耦合环(8)、反射端面(9)、调节活塞(10)组成，外管(1)、中管(2)、内管(3)具有金属的三管同轴结构，中管(2)和内管(3)之间设有隔圈(4)，耦合环(8)设置在中管(2)外壁，微波耦合接口(5)设在外管(1)上形成外管微波开口(6)，耦合杆(7)固定在耦合环(8)上，并位于外管微波开口(6)间，在外管(1)和中管(2)之间设有反射端面(9)，形成一端开放的同轴谐振腔，反射端面(9)与调节活塞(10)连接在一起，其特征在于，内管(3)的端口平面突出谐振腔的开放端平面。

2.根据权利要求1所述的一种自动点火的微波等离子体炬装置，其特征在于，内管(3)开口端平面相对中管(2)和外管(1)开口端平面突出0.5-2mm。