[实用新型]一种刻蚀装置

权利要求书

1.一种刻蚀装置,包括刻蚀装置本体（7）、硅基体（4）和气压腔（13），其特征在于：所述刻蚀装置本体（7）的侧面顶部设有报警指示灯（11），所述刻蚀装置本体（7）的下方设有控制箱（10），控制箱（10）的内部设有内置电路（18），所述控制箱（10）的内部设有刻蚀仓（8），刻蚀仓（8）的顶部设有多个喷嘴（12），所述喷嘴（12）的正下方设有硅基体（4）。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于：所述硅基体（4）上设有刻蚀开口（3），所述刻蚀开口（3）上设有红外吸收区（1），红外吸收区（1）四周设有热电堆（5），所述热电堆（5）的一侧设有支撑臂（6），所述支撑臂（6）垂直于红外吸收区（1）的四条边。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于：所述喷嘴（12）的顶部设有气压腔（13），所述气压腔（13）的下方设有酸液腔（14），所述酸液腔（14）的侧壁设有导液管（17），所述导液管（17）焊接在酸液腔（14）的侧壁上，所述酸液腔（14）的下方中央设有喷头（15），所述喷头（15）为倒置状，所述喷头（15）的侧面设有定位器。

4.根据权利要求3所述的一种刻蚀装置，其特征在于：所述气压腔（13）与酸液腔（14）之间设有导管连通。

5.根据权利要求1所述的一种刻蚀装置，其特征在于：所述内置电路（18）上设有电源模块（19），所述电源模块（19）的另一端设有主控电路（20），所述主控电路（20）的一侧设有无线网模块（21）、存储模块（22），所述无线网模块（21）、存储模块（22）相互并联，所述主控电路（20）的另一端设有智能控制模块（23），所述电源模块（19）、主控电路（20）、智能控制模块（23）相互串联。

6.根据权利要求5所述的一种刻蚀装置，其特征在于：所述智能控制模块（23）的一端设有报警电路（24），所述报警电路（24）的一侧设有气泵控制模块（25），所述气泵控制模块（25）的一侧设有驱动电路（26），所述驱动电路（26）的一端设有检测电路（27），所述驱动电路（26）的一侧设有喷嘴控制模块（28），所述喷嘴控制模块（28）的另一端设有定位模块（29），所述报警电路（24）、气泵控制模块（25）与驱动电路（26）、检测电路（27）相互与喷嘴控制模块（28）、定位模块（29）相互并联。