[实用新型]用于扫描电子显微镜的预倾角样品座

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，尤其是一种用于金属材料及光伏材料断口失效分析的样品座，属于金属材料及光伏材料测试设备技术领域。

背景技术

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种主要应用于材料表面形貌观察成像的材料表征技术设备。SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品表面结构有关。次级电子由探测器收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。

目前，用于金属材料及光伏材料断口分析的SEM样品座材质为金属，结构大致相同，由金属平台B和底座A两部分组成，如图1所示，底座A用来与设备样品台（Stage）连接固定，底座A顶部的金属平台B用于放置样品D。金属平台B是一个圆形平台，用于放置样品；金属平台B底部是一个燕尾插槽，正好匹配及固定在SEM样品台上。被观测的断口样品D是通过双面导电胶C粘贴在样品座上，如图1所示，从而使样品D与样品座及样品台导通。

上述操作方式有2个不足：

（1）在观察测试不规则断面时，需要对样品台进行大角度倾斜，并反复调整，直至被观测区域与电子束光源垂直，使光源均匀地投射在观测面上，这种操作相当地费时费力，延缓了检测速度，工作效率低；

（2）对样品台进行大角度倾斜调整时，样品台容易撞击到样品仓内的接收探头，影响了设备的安全使用及服役寿命。

因此，如何避免样品台在真空仓内进行繁琐的大角度倾斜调整，并避免样品台撞击接收探头的问题，成为该技术领域亟待解决的课题。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，避免样品台在真空仓内进行繁琐的大角度倾斜调整，简化了操作，提高了工作效率；也避免了设备的样品台撞击接收探头，保证设备的安全使用，并提高了设备的服役寿命。

按照本实用新型提供的技术方案，所述用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，包括样品基座，样品基座的底部设置用于连接SEM样品台的插槽座；其特征是：所述样品基座的边缘分布多个预倾角支撑柱，预倾角支撑柱朝向样品基座中心的一侧为用于放置断口样品的倾斜面；所述预倾角支撑柱的倾斜面的倾角分别与不同断口样品的断面的倾斜度相一致，从而将设置在倾斜面上的断口样品的断面呈水平状态放置。

进一步的，所述插槽座上设有插槽。

进一步的，所述插槽采用燕尾形插槽。

进一步的，所述样品基座为圆形。

进一步的，所述预倾角支撑柱为三个，等距离分布在样品基座的边缘。

进一步的，所述三个预倾角支撑柱的倾斜面的倾角分别设置为15°、45°、60°。

进一步的，所述样品基座和预倾角支撑柱均采用金属材料制作。

进一步的，所述预倾角支撑柱的高度不超过20mm。

进一步的，所述断口样品通过双面导电胶固定在预倾角支撑柱的倾斜面上。

本实用新型与已有技术相比具有以下优点：

本实用新型结构合理、紧凑、简单，将样品的断面调至水平状态，并用双面导电胶粘贴至预倾角支撑柱的倾斜面上，样品放置稳定可靠，避免了将设备的样品台进行大角度倾斜的繁琐操作，使用便捷，提高了工作效率；避免了设备的样品台撞击接收探头，保证了扫描电子显微镜的安全使用，并提高了设备的服役寿命。

附图说明

图1为现有技术中用于扫描电子显微镜的样品座的结构示意图。

图2为本实用新型所述用于扫描电子显微镜的预倾角样品座的立体图。

图3为本实用新型所述用于扫描电子显微镜的预倾角样品座的主视图。

附图标记说明：1-插槽座、2-插槽、3-样品基座、4-双面导电胶、5-断口样品、6-预倾角支撑柱、A-底座、B-金属平台、C-双面导电胶、D-样品。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。