[实用新型]一种精确度高的薄膜厚度测量装置

权利要求书

1.一种精确度高的薄膜厚度测量装置，包括卷筒（1），其特征在于：所述卷筒（1）的外表面绕设有薄膜本体（2），所述卷筒（1）的一侧设置有支撑板（5），所述支撑板（5）的上表面靠近卷筒（1）的一侧设置有缓冲板（17），所述支撑板（5）的上表面远离卷筒（1）的一侧设置有固定板（16），所述缓冲板（17）和固定板（16）的两端均设置有与支撑板（5）固定连接的连接板（6），所述支撑板（5）远离卷筒（1）的一侧固定连接有测试板（9），所述测试板（9）上表面的中部固定连接有挡板（15），所述挡板（15）靠近支撑板（5）的一侧分别设置有第一电子扫描器（11）和第二电子扫描器（14）。

2.根据权利要求1所述的一种精确度高的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述缓冲板（17）和固定板（16）之间设置有等距离分布的滚筒（7），所述滚筒（7）通过其两端设置的转轴（8）与连接板（6）铰接。

3.根据权利要求2所述的一种精确度高的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述卷筒（1）的两端均固定连接有连接块（3），所述连接块（3）的外侧铰接有固定架（4）。

4.根据权利要求1所述的一种精确度高的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述挡板（15）的两侧均固定连接有电动滑轨（10），且两个电动滑轨（10）的内侧壁上均开设有滑槽（18），所述挡板（15）的外侧固定连接有控制器（13）。

5.根据权利要求1所述的一种精确度高的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述第一电子扫描器（11）和第二电子扫描器（14）的两侧均设置有连接杆（12），所述连接杆（12）通过其一端固定连接的卡环（19）分别与第一电子扫描器（11）和第二电子扫描器（14）固定连接。

6.根据权利要求4或5所述的一种精确度高的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述第一电子扫描器（11）和第二电子扫描器（14）外侧的连接杆（12）均通过滑块与滑槽（18）滑动连接。