[实用新型]电阻式加热器与多晶硅长晶装置有效
| 申请号： | 201720150700.8 | 申请日： | 2017-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN206502891U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 曾世凱;吴瑞彬;杨镇豪 | 申请（专利权）人： | 茂迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/04 | 分类号： | C30B28/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新北市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电阻 加热器 多晶 硅长晶 装置 | ||
1.一种电阻式加热器，该电阻式加热器的外轮廓呈一矩形，其特征在于，该电阻式加热器包含：
一第一短连接器和一第二短连接器，该第一短连接器和该第二短连接器互相分离且依序设置于该矩形的一第一边；
一长连接器，设置于该矩形的相对于该第一边的一第二边；
多个第一加热棒，每一该些第一加热棒以一端连接于该第一短连接器而以另一端连接于该长连接器；以及
多个第二加热棒，每一该些第二加热棒以一端连接于该第二短连接器而以另一端连接于该长连接器，
其中该长连接器具有一中间段、和分别连接于该中间段的一第一端部段及一第二端部段，且该中间段的截面积大于该第一端部段的截面积，且该中间段的截面积大于该第二端部段的截面积。
2.根据权利要求1所述的电阻式加热器，其特征在于，该些第一加热棒位于较外侧者的截面积大于较内侧者的截面积，且该些第二加热棒位于较外侧者的截面积大于较内侧者的截面积。
3.根据权利要求1所述的电阻式加热器，其特征在于，该第一短连接器、该第二短连接器、该长连接器、该些第一加热棒与该些第二加热棒的材质相同。
4.根据权利要求1所述的电阻式加热器，其特征在于，该第一短连接器与该第二短连接器分别连接一电源的一第一极与一第二极。
5.一种多晶硅长晶装置，其特征在于，包含：
一坩埚；
一上电阻式加热器，位于该坩埚的上方；以及
一下电阻式加热器，位于该坩埚的下方；
其中该上电阻式加热器的外轮廓呈一矩形，且该上电阻式加热器包含：
一第一短连接器和一第二短连接器，该第一短连接器和该第二短连接器互相分离且依序设置于该矩形的一第一边；
一长连接器，设置于该矩形的相对于该第一边的一第二边；
多个第一加热棒，每一该些第一加热棒以一端连接于该第一短连接器而以另一端连接于该长连接器；以及
多个第二加热棒，每一该些第二加热棒以一端连接于该第二短连接器而以另一端连接于该长连接器，
其中该长连接器具有一中间段、和分别连接于该中间段的一第一端部段及一第二端部段，且该中间段的截面积大于该第一端部段的截面积，且该中间段的截面积大于该第二端部段的截面积。
6.根据权利要求5所述的多晶硅长晶装置，其特征在于，该些第一加热棒位于较外侧者的截面积大于较内侧者的截面积，且该些第二加热棒位于较外侧者的截面积大于较内侧者的截面积。
7.根据权利要求5所述的多晶硅长晶装置，其特征在于，该第一短连接器、该第二短连接器、该长连接器、该些第一加热棒与该些第二加热棒的材质相同。
8.根据权利要求5所述的多晶硅长晶装置，其特征在于，该第一短连接器与该第二短连接器分别连接一电源的一第一极与一第二极。
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