[实用新型]单晶炉加热器及单晶炉加热系统有效
申请号: | 201720150898.X | 申请日: | 2017-02-20 |
公开(公告)号: | CN207062418U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 王会敏;张浩强;曹祥瑞;颜超;陈二星;王东;孔哲;何志国 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 054001 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 加热器 加热 系统 | ||
1.单晶炉加热器,包括下发热体和与所述下发热体相连的加热器脚,其特征在于:还包括上发热体和用于连接所述上发热体和所述下发热体的连接件,所述上发热体与所述下发热体可拆卸地连接;所述连接件为导电体材质,所述连接件与所述上发热体、所述下发热体螺纹连接;所述连接件的横截面为“几”形,所述连接件、所述上发热体和所述下发热体都设有通孔,所述连接件与所述上发热体、所述下发热体通过螺栓、螺母连接。
2.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述上发热体与所述下发热体的外径相等,所述下发热体的叶片较所述上发热体的叶片小且数量多。
3.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述连接件的数量为两个,两个所述的连接件分设在所述上发热体和所述下发热体的两侧。
4.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述上发热体和所述下发热体均为筒型结构。
5.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述上发热体的轴向长度范围为10至400mm,所述下发热体的轴向长度范围为100至500mm。
6.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述加热器脚的数量为两个,所述加热器脚分设于所述下发热体的底部两侧。
7.单晶炉加热系统,包括坩埚和保温套,其特征在于:还包括一个如权利要求1-6中任一项所述的单晶炉加热器和一个电源系统。
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