[实用新型]基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置

权利要求书

1.一种基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置，该装置包括激光器(1)、准直扩束系统(2)、光束整形器(3)、反射式达曼光栅(4)、第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)，第一滑道(9)、第二滑道(10)，第一相位调制器(11)、第二相位调制器(12)，待加工材料(13)，其特征在于：基于反射式达曼光栅的分光特性，使用反射式达曼光栅(4)将经过准直扩束系统(2)、光束整形器(3)的单束激光分成强度相同的多束相干光，再经过第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)、第一相位调制器(11)、第二相位调制器(12)，将多束相干光会合于待加工材料表面形成微纳结构。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述反射式达曼光栅为1×2或1×4的，可分别实现将单束激光分成强度相同的2束或4束相干光。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：光束整形器(3)对激光光斑形状进行调整，使其变为方形，便于加工区域的连续拼接。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：微纳结构的特征尺寸和周期通过改变第三反射镜(7)、第四反射镜(8)的位置和角度进行调整，其中第三反射镜(7)、第四反射镜(8)安装在第一滑道(9)、第二滑道(10)上，便于移动和角度调整的操作。