[实用新型]一种真空镀膜传动装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种传动装置，特别涉及一种真空镀膜传动装置。

背景技术：

近年来，真空技术在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景，而诸如物理气相沉积、化学气相沉积和等离子体表面处理等技术更是在国民经济的各个领域中得到广泛的应用；随着真空技术的不断发展，尤其是各种诸如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等功能膜的出现，为了保证真空室内的工件在加工过程中的均一性和可操作性，对工件的回转都有较高的要求，通常要求有公转和自转或者只要公转。

实用新型内容：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种真空镀膜传动装置，解决了背景技术中提到的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：一种真空镀膜传动装置，包括真空室壁，其创新点在于：还包括螺钉、固定套、传动轴、从动带轮、弹簧、皮带、主动带轮、电机、减速箱、自转轴、自转齿轮、固定件、工件盘、活动齿轮、连接轴、从动齿轮、拉杆、卡盘、固定齿轮和公转盘；所述固定套通过螺钉固定连接在真空室壁中；所述传动轴活动连接在固定套内部；所述从动带轮固定连接在传动轴顶端，所述从动带轮通过皮带与主动带轮相连接；所述主动带轮固定连接在减速箱上侧输出轴上；所述减速箱固定连接在真空室壁上面，所述减速箱右上侧输入轴与电机下侧输出轴固定连接；所述公转盘中心固定连接在传动轴底端上，所述公转盘外侧活动连接有数个自转轴；所述自转轴下侧通过固定件固定连接有自转齿轮，所述自转轴底端均固定连接有工件盘；所述自转齿轮分别与活动齿轮相连接；所述活动齿轮活动连接在连接轴下侧；所述连接轴分别位于自转轴内侧对应的位置，所述连接轴活动连接在公转盘中，所述连接轴上侧均固定连接在从动齿轮；所述从动齿轮分别与固定齿轮相连接；所述固定齿轮固定连接在固定套下侧外部；所述拉杆活动连接在传动轴中心，所述拉杆上侧与所述传动轴顶面之间设有弹簧，所述拉杆底端固定连接有卡盘；所述卡盘外侧卡槽分别与活动齿轮下侧凹槽相连接。

作为优选，所述电机为伺服电机或变频电机。

作为优选，所述连接轴下侧设有花键槽，且花键槽与活动齿轮内部相匹配。

作为优选，所述皮带为同步带。

本实用新型的有益效果：本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，使用时，首先启动电机，从而驱使传动轴带动公转盘旋转，而公转盘的旋转则驱使从动齿轮围绕固定齿轮带动连接轴旋转，而连接轴的旋转则通过活动齿轮带动自转齿轮旋转，而自转齿轮则通过自转轴带动工件盘旋转，从而满足了工件在加工过程中公转和自转的需要，当不需要自转时只需按下拉杆驱使活动齿轮与自转齿轮相分离，从满足了工件不同加工的需要。

附图说明：

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图。

1-真空室壁；2-螺钉；3-固定套；4-传动轴；5-从动带轮；6-弹簧；7-皮带；8-主动带轮；9-电机；10-减速箱；11-自转轴；12-自转齿轮；13-固定件；14-工件盘；15-活动齿轮；16-连接轴；17-从动齿轮；18-拉杆；19-卡盘；20-固定齿轮；21-公转盘。

具体实施方式：