[实用新型]匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构

权利要求书

1.一种匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：包括设置在刻蚀槽槽体上用于封闭所述槽体的槽盖(1)，该槽盖(1)包括相互连接且与水平面成一定角度倾斜设置的第一盖板(2)和第二盖板(3)、以及连接在所述第一盖板(2)和第二盖板(3)两端的两侧板(4)，该侧板(4)、第一盖板(2)、第二盖板(3)构成三棱柱状空间；所述第一盖板(2)和第二盖板(3)上分别设有抽风盒(5)，该抽风盒(5)的上方设有至少一个与外部抽风管道相连通的抽风管接头(6)，该抽风盒(5)的底部与所述槽体内部相连通。

2.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述抽风管接头(6)具有2个，分别设置于抽风盒(5)两端。

3.根据权利要求2所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述槽盖(1)的坡角方向与抽风管接头(6)的连线相垂直。

4.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述抽风盒(5)垂直于侧板(4)，且与槽盖(1)的两端相平齐。

5.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述抽风盒(5)的底部具有倒V型底板(7)，该底板(7)上均布有两排与所述槽体内部相连通的若干个抽风孔(8)。

6.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述抽风盒(5)上还设有便于冷凝液排出的导出口(9)。

7.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述第一盖板(2)与水平面的夹角为30°～80°。

8.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述第二盖板(3)与水平面的夹角为30°～80°。

9.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：所述第一盖板(2)和第二盖板(3)为一体折弯成型结构。