[实用新型]匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构

权利要求书

1.一种匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：包括由顶板和四面侧板组成的用于封闭槽体的箱型槽盖(1)，该箱型槽盖(1)的顶板上设有两个与外部抽风管道相连通的抽风管接头(2)，该箱型槽盖的内腔中设有均布有若干个抽风孔(3)的匀流板(4)，该匀流板(4)与箱型槽盖的顶板之间垂直设有冷凝板(5)。

2.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：所述匀流板(4)是由两个相互连接且成一定角度倾斜设置的板片构成的倒V型板。

3.根据权利要求2所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：所述匀流板(4)为一体折弯成型结构。

4.根据权利要求2所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：所述冷凝板(5)位于倒V型匀流板(4)的折线交界处。

5.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：所述冷凝板(5)由便于抽取废气的抽气区域和便于液滴滴落的冷凝区域构成，所述抽气区域为位于冷凝板上部靠近抽风管接头(2)处且开设有若干个抽风孔(3)的弧形区域。

6.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：所述抽风管接头(2)关于箱型槽盖(1)的横向中心面对称，且其中心线与箱型槽盖(1)的纵向中心面相重合。

7.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：相邻的所述抽风管接头(2)沿箱型槽盖(1)长度方向的间距为箱型槽盖长度的1/2～5/6。

8.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：所述箱型槽盖(1)的侧板上还设有便于冷凝液排出的导出口(6)。