[实用新型]一种硅料生产用坩埚及其单晶硅拉制系统有效
| 申请号： | 201720162939.7 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN206457555U | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 程云刚 | 申请（专利权）人： | 香港金马能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 中国香港旺角烟厂街*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生产 坩埚 及其 单晶硅 拉制 系统 | ||
1.一种硅料生产用坩埚，其特征在于，包括石英坩埚、两个以上的分隔板；
所述石英坩埚内设置有用于容纳硅料的容纳空间；
两个以上的所述分隔板将所述容纳空间分隔为3个以上的分腔室；
多个所述分腔室由所述容纳空间的一端向另一端依次并排设置；
所述分隔板的下部设置用于连通相邻两个所述分腔室的通孔。
2.根据权利要求1所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述硅料生产用坩埚还包括用于对石英坩埚进行加热的石墨坩埚，所述石英坩埚放置在所述石墨坩埚内。
3.根据权利要求2所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述石墨坩埚内底部倾斜设置；所述石英坩埚放置在所述石墨坩埚内，多个所述分腔室自高向低依次设置。
4.根据权利要求1所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述隔板的横截面包括依次设置的第一石英层、石墨层和第二石英层。
5.根据权利要求4所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述第一石英层和所述石墨层之间、以及所述第二石英层和所述石墨层之间设置有碳纤维网。
6.根据权利要求1所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述隔板为石英板材，石英板材夹层设置，石英板材中间设置有石墨层。
7.根据权利要求6所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述石墨层外包裹有碳纤维网。
8.根据权利要求2所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述石墨坩埚的内侧壁与所述石英坩埚的外侧壁之间留有间隙；所述石墨坩埚的内侧壁上设置有用于支撑所述石英坩埚的外侧壁的凸起结构；所述石墨坩埚的内侧壁与所述石英坩埚的外侧壁之间填充有碳纤维材料。
9.根据权利要求2所述的硅料生产用坩埚，其特征在于，所述石墨坩埚由石墨材质制成，石墨坩埚的内侧壁上敷设有一层碳纤维层；所述石英坩埚内侧壁上设置有无气泡石英层。
10.一种具有权利要求1-9任一项所述的硅料生产用坩埚的单晶硅拉制系统，其特征在于，其还包括：用于对所述石英坩埚进行加热的加热装置。
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